用于放置硅片的缓存装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116013826A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211733601.4H01L21/67(2006.01)(22)申请日2022.12.30(71)申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司地址322000浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号申请人广东爱旭科技有限公司天津爱旭太阳能科技有限公司珠海富山爱旭太阳能科技有限公司(72)发明人周友成梁跃陈刚(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240专利代理师唐振北(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/673(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图8页(54)发明名称用于放置硅片的缓存装置(57)摘要本发明提供了一种用于放置硅片的缓存装置，包括：安装基座活动设置在升降模组上，升降模组驱动安装基座沿升降模组的高度方向运动；多个缓存支架彼此间隔设置并形成用于放置硅片的容纳区域，各缓存支架朝向容纳区域的一侧具有定位齿结构，定位齿结构的相邻两个齿之间形成用于容置硅片的定位槽，以使多个硅片能够沿定位齿结构的延伸方向彼此独立放置在不同的定位槽内；多个缓存支架通过调节模组设置在安装基座上，且调节模组与多个缓存支架驱动连接，以使多个缓存支架彼此靠近或远离来改变容纳区域的大小，其中，多个缓存支架中至少两个缓存支架的运动方向呈角度设置。本发明解决了现有技术中缓存装置存在自动化程度低、调节精度差的问题。CN116013826ACN116013826A权利要求书1/2页1.一种用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，包括：升降模组(10)；安装基座(20)，所述安装基座(20)活动设置在所述升降模组(10)上，所述升降模组(10)驱动所述安装基座(20)沿所述升降模组(10)的高度方向运动；多个缓存支架(30)，多个所述缓存支架(30)彼此间隔设置并在多个所述缓存支架(30)之间形成用于放置所述硅片的容纳区域(40)，各所述缓存支架(30)朝向所述容纳区域(40)的一侧具有定位齿结构，且所述定位齿结构沿各所述缓存支架(30)的高度延伸，所述定位齿结构的相邻两个齿之间形成用于容置硅片的定位槽(33)，以使多个所述硅片能够沿所述定位齿结构的延伸方向彼此独立放置在不同的所述定位槽(33)内；调节模组(50)，多个所述缓存支架(30)通过所述调节模组(50)设置在所述安装基座(20)上，且所述调节模组(50)与多个所述缓存支架(30)驱动连接，以使多个所述缓存支架(30)彼此靠近或远离来改变所述容纳区域(40)的大小，其中，多个所述缓存支架(30)中至少两个所述缓存支架(30)的运动方向呈角度设置。2.根据权利要求1所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，多个所述缓存支架(30)两两一组成对设置形成缓存组件，同组内的两个所述缓存支架(30)呈对角方向布置在所述安装基座(20)的底部，所述调节模组(50)包括多个驱动组件(51)，且不同的所述缓存组件由不同的所述驱动组件(51)驱动运动，不同组的所述缓存组件的运动方向呈角度设置，所述缓存组件内的两个所述缓存支架(30)相向或相背运动。3.根据权利要求2所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，所述缓存组件为两组。4.根据权利要求1所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，所述缓存支架(30)为三个时，其中两个所述缓存支架(30)平行且间隔设置形成缓存组件，所述调节模组(50)驱动所述缓存组件中的两个所述缓存支架(30)相向或相背运动，另一个所述缓存支架(30)的运动方向与所述缓存组件的运动方向呈角度设置。5.根据权利要求2所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，多个所述驱动组件(51)沿高度方向间隔设置在所述安装基座(20)的底部。6.根据权利要求5所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，所述调节模组(50)还包括连接板(52)，所述连接板(52)设置在相邻两个所述驱动组件(51)之间，所述连接板(52)和/或所述安装基座(20)的底面具有对所述驱动组件(51)的运动进行导向的滑槽结构(60)，所述驱动组件(51)的至少一部分设置在所述滑槽结构(60)内。7.根据权利要求6所述的用于放置硅片的缓存装置，其特征在于，所述驱动组件(51)包括：驱动件(511)，所述驱动件(511)与所述连接板(52)和/或所述安装基座(20)连接；驱动臂(512)，所述驱动臂(512)至少为两个，所述驱动臂(512)与所述驱动件(511)连接，所述驱动件(511)驱动至少两个所述驱动臂(512)彼此靠近或远离，且所述驱动臂(512)的至少一部分位于所述滑槽结构(60)内，所述缓存支架(30)连接在所述驱动臂(512)远离所述驱动件(511)的