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硅片缓存装置及激光加工设备.pdf
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本实用新型公开了一种硅片缓存装置及激光加工设备,硅片缓存装置包括底座、升降组件、缓存组件以及挡料组件,升降组件包括升降机构以及导轨,导轨连接于底座并且呈竖直方向布置,升降机构连接于导轨;缓存组件包括连接板以及两个硅片缓存架,连接板滑动连接于导轨并且呈水平方向布置,升降机构用于驱动连接板上升或者下降,沿连接板的长度方向,两个硅片缓存架分置在连接板的两侧并且与连接板垂直,两个硅片缓存架之间具有多个硅片缓存槽;挡料组件包括两个挡料盒,每一个硅片缓存架的正下方均设置有挡料盒,本实用新型第一方面实施例提供的硅片缓存
2023-04-29
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