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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114308644A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202210037184.3(22)申请日2022.01.13(71)申请人浙江蓝晶芯微电子有限公司地址321000浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号(72)发明人张斌郑宝春郑宝生(74)专利代理机构深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司44504代理人吴巧华(51)Int.Cl.B07B1/30(2006.01)B07B1/42(2006.01)B07B1/46(2006.01)B07B1/52(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法(57)摘要本发明公开了一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法,涉及晶片掩膜技术领域;为了解决难以稳定将石英晶片分离出来的问题;本装置具体包括安装板和进料板,所述安装板一侧外壁固定有弹性伸缩杆,安装板底部外壁滑动连接有导向杆,导向杆底部外壁固定有支撑架,弹性伸缩杆一侧外壁固定有筛分框,筛分框一侧外壁设置有推动机构;石英晶片的分离方法包括如下步骤:将待分离的石英晶片放入进料板,随后启动进料板、步进电机和传送板。本发明再通过筛分框对石英晶片进行稳定筛分的同时,可以避免石英晶片在筛分时从筛分框内掉出,同时避免筛分框内部发生阻塞和石英晶片卡在筛分孔内壁的情况出现,提高了物料的分离效率。CN114308644ACN114308644A权利要求书1/2页1.一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,包括安装板(1)和进料板(16),其特征在于,所述安装板(1)一侧外壁固定有弹性伸缩杆(24),安装板(1)底部外壁滑动连接有导向杆(2),导向杆(2)底部外壁固定有支撑架(3),弹性伸缩杆(24)一侧外壁固定有筛分框(20),筛分框(20)一侧外壁设置有推动机构,导向杆(2)顶部外壁固定有第二L型固定杆(17),第二L型固定杆(17)一侧外壁固定有顶板(10),顶板(10)底部外壁设置有扫料机构,筛分框(20)底部内壁分别开有呈阵列式分布的筛分孔(13),支撑架(3)两侧内壁分别固定有支撑杆(14),支撑杆(14)一侧外壁固定有传送板(5)。2.根据权利要求1所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述推动机构包括连接板(31)、步进电机(18)、齿条板(32)和半齿轮(33),齿条板(32)固定于筛分框(20)的一侧外壁上,连接板(31)固定于支撑架(3)的顶部外壁上,步进电机(18)固定于连接板(31)的顶部外壁上,半齿轮(33)通过联轴器连接于步进电机(18)的输出轴上,半齿轮(33)与齿条板(32)啮合连接。3.根据权利要求1所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述扫料机构包括连杆(28)、安装杆(27)和弹性海绵块(29),所述连杆(28)固定于顶板(10)的底部外壁上,安装杆(27)固定于连杆(28)的底部外壁上,弹性海绵块(29)固定于安装杆(27)的底部外壁上。4.根据权利要求2所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述支撑架(3)和导向杆(2)一侧外壁固定有导料框(4)。5.根据权利要求3所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述顶板(10)底部外壁固定有第一弹性褶皱带(11),第一弹性褶皱带(11)底部外壁固定于筛分框(20)的顶部外壁上,导料框(4)顶部外壁固定有第二弹性褶皱带(21),第二弹性褶皱带(21)顶部外壁固定于筛分框(20)的底部外壁上。6.根据权利要求5所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述筛分框(20)一侧外壁固定有挡板(30),挡板(30)和筛分框(20)一侧外壁固定有出料框(19)。7.根据权利要求4所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述支撑架(3)顶部外壁固定有导向板(8),导向板(8)一侧外壁设置有观察窗(7)和连接杆(9),连接杆(9)一侧外壁固定于顶板(10)的一侧外壁上,筛分框(20)一侧外壁滑动连接于导向板(8)的一侧外壁上,筛分框(20)底部内壁固定有分隔板(23)和导料板(26),筛分框(20)两侧内壁和分隔板(23)两侧外壁分别固定有固定片(25),固定片(25)底部外壁固定有第二挡料板(22),传送板(5)两侧内壁固定有第一挡料板(6)。8.根据权利要求3所述的一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置,其特征在于,所述安装杆(27)两侧外壁分别固定有活动杆(35),活动杆(35)一侧外壁固定有限位框(12),导料板(26)一侧外壁开有导向通孔(34),导向通孔(34)内壁滑动连接有活动杆(35)。9.一种晶片掩膜工装用物料