单晶炉及其连续加料装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN109183140A(43)申请公布日2019.01.11(21)申请号201811363620.6(22)申请日2018.11.16(71)申请人江苏协鑫软控设备科技发展有限公司地址221001江苏省徐州市经济开发区杨山路88号(72)发明人张金政(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.C30B15/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称单晶炉及其连续加料装置(57)摘要本发明涉及一种单晶炉的连续加料装置，包括：外壳体，设有加料口及起吊接口；支架，固定于外壳体内；料斗，支撑于支架，料斗的底部设有出料口；加料管，上端口位于外壳体内，下端口伸出外壳体的底部；硅料输送装置，位于外壳体内，与出料口及加料管的上端口之间均密封连接；掺杂管，一端位于外壳体的外部，另一端位于加料管的上端口的上方，并与加料管的上端口密封连接；及定位销，固定于外壳体的底部。外壳体可安装至单晶炉的立柱并通过定位销定位，从而能够快速连接至炉体，且硅料输送装置与出料口及加料管之间均密封连接，能在封闭环境下实现连续加料，避免污染。还提出一种单晶炉，包括上述的连续加料装置。CN109183140ACN109183140A权利要求书1/1页1.一种单晶炉的连续加料装置，其特征在于：包括外壳体，所述外壳体的顶部设有加料口，所述外壳体的外壁设有起吊接口；支架，固定于所述外壳体内；料斗，支撑于所述支架，所述料斗的底部设有出料口；加料管，所述加料管的上端口位于所述外壳体内，下端口伸出外壳体的底部；硅料输送装置，位于所述外壳体内，与所述出料口及所述加料管的上端口之间均密封连接；掺杂管，一端位于外壳体的外部，另一端位于所述加料管的上端口的上方，并与所述加料管的上端口密封连接；及定位销，固定于所述外壳体的底部。2.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述料斗的内壁具有保护内衬。3.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述下端口的外部套设有固定于所述外壳体的波纹管。4.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述出料口的上方还设有硅料分布器，所述硅料分布器为锥体。5.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，还包括具有内腔的转接件，所述加料管、所述硅料输送装置及掺杂管插入所述转接件的内腔中。6.根据权利要求5所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，还包括连接架，所述转接件、所述硅料输送装置及所述料斗均与所述连接架固定连接，所述连接架支撑于所述支架，所述连接架与所述支架之间还设有称重传感器。7.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述外壳体还开设有抽真空口、氩气接口、真空计安装接口和观察窗。8.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述起吊结构为导轨或滑块。9.根据权利要求1所述的单晶炉的连续加料装置，其特征在于，所述硅料输送装置包括与所述出料口相连通的竖向管及水平管，所述水平管内设有振动喂料器，所述水平管与所述竖向管连通，且所述水平管具有位于所述加料管的上端口的上方的出口。10.一种单晶炉，其特征在于，包括炉体、立柱及如权利要求1-9中任一项所述的连续加料装置，其中所述立柱上安装有导向部件和升降机构，所述起吊接口滑动连接于导向部件并由所述升降机构驱动升降，所述定位销与所述炉体配合。2CN109183140A说明书1/5页单晶炉及其连续加料装置技术领域[0001]本发明涉及单晶制备装置领域，具体涉及一种单晶炉及其连续加料装置。背景技术[0002]目前，直拉法硅单晶炉是大多数厂商生产单晶硅棒的主要设备，在保证单晶硅棒性能优良可靠的前提下，如何降低产品的制造成本是单晶硅制造厂家一直以来努力寻求的。面对行业需求，增大单炉投料量，提升单晶炉的单炉产量和效率，成为了行业重要的发展方向。[0003]直拉单晶硅除了有生产流程长、工艺繁琐的缺点外，还有坩埚小，而且不能连续加料等弱点。因此，每融化一坩埚的多晶硅料只能拉一根单晶棒。每拉一根单晶棒就要降一次温，就得停一次炉，拆一次炉，清理一次热场以及过滤系统等等，这样子不仅浪费人力、浪费能源，而且严重影响生产效率，造成成本大，不利于单晶硅直拉炉的发展。[0004]围绕单次运行增加硅容量的方向，一方面可以增加坩埚尺寸，增加单次硅装料容量，但是增加坩埚尺寸，就要加大单晶炉的尺寸，同时加大热场尺寸，加大功率，加大制造难度，最关键当坩埚较大时，对于工艺上控制难度加大，例如温度梯度的控制，同时坩埚的制造难度加大，制造成本加大。另一方向则考虑辅助投料装置。下面就关于辅助投料装置进