真空干燥系统和真空干燥方法.pdf
是浩****32
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相关资料
真空干燥系统和真空干燥方法.pdf
本发明涉及一种真空干燥系统和方法,该系统包括:支撑平台,用于支撑衬底基板,其中,所述支撑平台包括多个沿预设方向设置的子平台,相邻子平台之间形成有间隙;机械臂,包括多个与所述间隙相对应的条状结构,用于将所述衬底基板置于所述支撑平台或将所述衬底基板移出所述支撑平台。根据本发明的技术方案,通过支撑平台来支撑衬底基板,相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板,支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多,可以降低对衬底基板的局部压力,从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生显示器亮度不均匀。
真空干燥装置及真空干燥方法.pdf
本发明提供一种真空干燥装置及真空干燥方法。该真空干燥装置包括腔室以及设于所述腔室中的多个支撑杆,所述支撑杆用于支撑液晶母板,所述液晶母板包括多个间隔设置的液晶面板以及包围每个液晶面板的外围区域,所述多个支撑杆包括对应支撑液晶面板的多个第一支撑杆以及对应支撑外围区域的多个第二支撑杆,提高支撑杆的数量以降低液晶母板在每一个支撑点位受到的压强,避免液晶母板在真空干燥时单点受力过大而导致形成Mura,并且针对同一尺寸的液晶母板生产不同尺寸的液晶面板时,不需要切换支撑杆排布方式,以一种通用的支撑杆排布方式满足所有尺
真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备.pdf
本申请公开了一种真空干燥装置、基板真空干燥方法及真空干燥设备。真空干燥装置包括:底座,干燥室,包括设于底座的腔室以及与腔室活动连接的腔门,腔室设有容纳腔,腔门用于供待干燥的基板进入容纳腔;局部干燥结构,包括设于底座的驱动机构以及与驱动机构连接的干燥机构,驱动机构驱动干燥机构进入容纳腔对基板进行局部干燥;干燥机构包括与驱动机构连接底板、设于底板的定位器和干燥器,驱动机构驱动干燥器对目标区域进行干燥,所述目标区域为所述定位器定位的所述基板上溶液未干的区域。本申请实施例中通过局部干燥结构定位溶液未干的目标区域进
真空干燥系统.pdf
本发明公开一种真空干燥系统,用于干燥物料,所述真空干燥系统包括蒸汽发生器、换热器、泵、真空干燥炉以及加热管,所述蒸汽发生器与所述换热器通过进汽管道连通,所述换热器的出口与所述泵的进口通过第一输送管道连通,所述泵的出口与所述加热管的进口通过第二输送管道连通,所述加热管的出口与所述换热器的进口通过第三输送管道连通,所述加热管绕设于所述真空干燥炉的外壁,所述物料置于所述真空干燥炉内。蒸汽发生器产生蒸汽,通过换热器将蒸汽的热量进行转换,并在泵的驱动下,通过加热管将热量传递到真空干燥炉,从而对放置在真空干燥炉内的物
支撑架、真空干燥装置、干燥系统、基板干燥方法.pdf
本申请提供一种支撑架、真空干燥装置、干燥系统、基板干燥方法,涉及显示技术领域,可以降低因支撑针导致的显示面板显示亮度不均匀现象的发生几率。支撑架包括:支撑座和多个支撑杆。支撑杆沿第一方向延伸,多个支撑杆沿第二方向间隔且平行设置,并固定于支撑座上。第一方向和第二方向垂直。多个支撑杆包括一个第一支撑杆和两个第二支撑杆。第二支撑杆位于多个支撑杆的最外侧,第一支撑杆与两个第二支撑杆的间距相等。第一支撑杆上设有多个第一支撑针,第二支撑杆上设有多个第二支撑针,第一支撑针和第二支撑针用于对基板进行支撑。基板包括多个结构