一种管型靶材的生产方法.pdf
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相关资料
一种管型靶材的生产方法.pdf
本发明涉及一种管型靶材的生产方法,其使用了一种粉料振实设备,该粉料振实设备包括底板、工作台、固定装置与振实装置,采用上述粉料振实设备生产管型靶材时的具体方法流程如下:粉料称量、粉料填充、压缩预成型、脱模、热处理与机械加工,振实装置包括支撑杆、顶板、驱动电机、驱动凸轮、横移块、升降块、压料环、内部振实架、固定柱与外部振实架。本发明通过置料装置对多个管型模具进行固定,再通过振实装置分别从模具上方、内部与外部进行振实作业,振实效率明显提高,并且能够在振实过程中带动管型模具转动,能够增大振实装置与管型模具的接触范
一种跑道型硅靶材的生产方法.pdf
本发明涉及硅靶材生产技术领域,特别涉及一种跑道型硅靶材的生产方法,该方法将跑道型成套靶材分解为两个U型靶和多个长方形靶,分解后的长方形靶按照传统标准靶材生产,U型靶材按照异型靶生产,即利用水刀按照U型靶轮廓切割坯料,利用金刚石砂轮对U型靶侧表面进行机械加工。本发明可将跑道型硅靶材的生产效率提高5倍以上,水刀切割效率5000mm
一种改进型靶材炉设备及靶材邦定方法.pdf
一种改进型靶材炉设备,属于靶材邦定技术领域。该设备炉体的一侧设置炉门,炉体内设置加热基台,加热基台内设有用于控温的加热装置和温度检测仪,加热基台上连接用于放置靶材的靶材基板,靶材基板的正上方设置有加压板,加压板的上端连接位于炉体外的手动加压阀,炉体内部与外置的真空泵连通。本发明人工操作程序简单,靶材邦定效率提高;经过计算焊接的面积和铟球质量,可以确保铟料的利用率在98%以上;抽真空可以有效减少靶材和基板中间的空气和水蒸气,可以确保焊接的面积在97%以上;熟练工人靶材邦定的合格率达到100%。
一种靶材、靶材制备方法及装置.pdf
本发明是关于一种靶材、靶材制备方法及装置。该靶材包括:背衬管;形成于背衬管的外表面的靶材体;其中,靶材体包括:两个端段和中间段;其中,所述端段的第一靶材厚度大于所述中间段的第二靶材厚度。该技术方案增加了靶材体的端段的厚度,延长靶材在使用过程中的消耗时长,从而防止靶材体两端先耗光,提高靶材的利用率。
一种半圆型靶材的加工方法.pdf
本发明涉及硅靶材生产技术领域,特别涉及一种半圆型靶材的加工方法。该方法按照半圆型靶材成品尺寸要求预留余量切割坯料,直角边进行平面加工,将两个半圆粘接成整圆,研磨加工磨外圆,将整圆拆解回两个半圆,进行平面表面的精磨加工。本发明有效对圆靶材分解成半圆片加工,半圆片组合成圆片加工,有效的解决了半圆型靶材加工难题;通过此方案,半圆型靶材加工精度直径R±0.1mm,厚度H