一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114296319A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111636383.8(22)申请日2021.12.29(71)申请人江苏布里其曼科技股份有限公司地址223200江苏省淮安市淮安区平桥镇兴平街(72)发明人沈琨沈承刚沈振宇(74)专利代理机构江苏长德知识产权代理有限公司32478代理人汤小权(51)Int.Cl.G03F7/16(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法(57)摘要本发明涉及半导体加工的技术领域，特别涉及一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法，其使用了一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板、支撑杆、安装轴、封边装置和驱动装置，所述的安装底板下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆，安装底板上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴，安装轴的上端连接有封边装置，其中一个安装轴的下侧连接有驱动装置。相比于现有技术，本发明设计了一种可通过调节以适应不同尺寸外延片的封边装置，提升了该制造加工设备的整体利用率和加工效率，并防止了外延片在进行旋转涂胶时光刻胶容易从外延片的表面外侧流出，节约了资源，同时使光刻胶分布的更加均匀，提升了外延片的加工质量。CN114296319ACN114296319A权利要求书1/2页1.一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板(1)、支撑杆(2)、安装轴(3)、封边装置(4)和驱动装置(5)，其特征在于：所述的安装底板(1)下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆(2)，安装底板(1)上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴(3)，安装轴(3)的上端连接有封边装置(4)，其中一个安装轴(3)的下侧连接有驱动装置(5)；其中：所述的封边装置(4)包括放置圆板(41)、限位槽(42)、滑移安装板(43)、工作腔(44)、滑槽(45)、滑移块(46)、封边条(47)、双向电动推杆(48)和调节机构(49)，安装轴(3)的上端连接有放置圆板(41)，放置圆板(41)的上端面开设有限位槽(42)，限位槽(42)的上方设置有滑移安装板(43)，且滑移安装板(43)滑动设置在放置圆板(41)的上端面，滑移安装板(43)的内部开设有工作腔(44)，工作腔(44)的两侧相对连通有滑槽(45)，滑槽(45)内滑动安装有滑移块(46)，滑移块(46)的上侧之间通过封边条(47)连接，且封边条(47)滑动设置于滑移块(46)内，封边条(47)的相对侧之间通过双向电动推杆(48)连接，双向电动推杆(48)通过安装座固定在滑移安装板(43)的一端，滑移安装板(43)的中部设置有调节机构(49)；所述的安装底板(1)上端面中间位置安装有L型安装架(11)，L型安装架(11)的上端通过气缸底座安装有气缸(12)，气缸(12)的顶出端连接有下压板(13)，下压板(13)上设置有多个出料管(14)，出料管(14)管口与放置圆板(41)中心位置一一对应，下压板(13)下端面远离L型安装架(11)的一侧安装有多个连接杆(15)，连接杆(15)与出料管(14)位于同一竖直平面，连接杆(15)的下端连接有送料块(16)。2.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的限位槽(42)为横向布置，且限位槽(42)的长度小于放置圆板(41)的半径。3.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的出料管(14)与外部设置的供料设备连通，通过供料设备向出料管(14)内注入适量的光刻胶。4.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的送料块(16)为梯形，且送料块(16)的横向两侧为斜面。5.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的调节机构(49)包括转轴(491)、锁紧器(492)、一号锥齿轮(493)、二号锥齿轮(494)、丝杠(495)、带动齿轮(496)和轮齿(497)，工作腔(44)内转动安装有转轴(491)，转轴(491)的上侧安装于锁紧器(492)内，锁紧器(492)安装在工作腔(44)内，转轴(491)的中部安装有一号锥齿轮(493)，一号锥齿轮(493)的两侧螺纹连接有相对设置的二号锥齿轮(494)，二号锥齿轮(494)远离一号锥齿轮(493)的一端固定有丝杠(495)，两侧的丝杠(495)分别螺纹连接于相对应的滑移块(46)下侧，丝杠(495)远离二号锥齿轮(494)的一端转动安装在滑槽(45)内，转轴(491)的下侧外壁上固定有带动齿轮(496)，限位槽(42)内的一侧面上均匀安装有轮齿(497)，带动