晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114438600A(43)申请公布日2022.05.06(21)申请号202011228207.6(22)申请日2020.11.06(71)申请人长鑫存储技术有限公司地址230601安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号(72)发明人高鹏飞(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)31294专利代理师孙佳胤(51)Int.Cl.C30B31/14(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉(57)摘要该发明公开了一种晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉，晶舟结构包括支撑架，支撑架包括上支撑件和下支撑件，上支撑件与下支撑件之间设有多个支撑杆，支撑杆的两端分别与上支撑件和下支撑件相连，多个支撑杆沿上支撑件的周向间隔开设置且在其中两个相邻支撑杆之间形成有适于晶圆通过的开口；晶圆支撑部，晶圆支撑部设在支撑杆上以承载晶圆，晶圆支撑部包括支撑板和至少一个晶圆插板，支撑板和至少一个晶圆插板承载同一晶圆，支撑板与支撑杆相连且与上支撑件和下支撑件的中心位置处相对应，晶圆插板设在支撑杆的内侧以支撑晶圆的边缘。根据本发明实施例的晶舟结构，能够减小晶圆在制造中由于受到应力作用而发生破裂的风险，提高产品良率。CN114438600ACN114438600A权利要求书1/1页1.一种晶舟结构，其特征在于，包括：支撑架，所述支撑架包括上支撑件和下支撑件，所述上支撑件与所述下支撑件之间设有多个支撑杆，所述支撑杆的两端分别与所述上支撑件和所述下支撑件相连，多个所述支撑杆沿所述上支撑件的周向间隔开设置且在其中两个相邻支撑杆之间形成有适于晶圆通过的开口；晶圆支撑部，所述晶圆支撑部设在所述支撑杆上以承载晶圆，所述晶圆支撑部包括支撑板和至少一个晶圆插板，所述支撑板和所述至少一个晶圆插板承载同一晶圆，所述支撑板与所述支撑杆相连且与所述上支撑件和所述下支撑件的中心位置处相对应，所述晶圆插板设在所述支撑杆的内侧以支撑所述晶圆的边缘。2.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，所述晶圆支撑部还包括连接杆，所述连接杆分别与所述支撑杆和所述支撑板相连。3.根据权利要求2所述的晶舟结构，其特征在于，所述连接杆为至少两个，所述至少两个连接杆分别与至少两个所述支撑杆一一对应相连。4.根据权利要求2所述的晶舟结构，其特征在于，所述连接杆设在所述支撑板远离所述开口且与所述开口相对的一侧。5.根据权利要求2所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板的上表面与同一所述晶圆支撑部的晶圆插板的上表面相平齐，且高于所述连接杆的上表面。6.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板形成为圆形。7.根据权利要求6所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板的直径为90mm-110mm。8.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板形成为环形。9.根据权利要求8所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板形成为圆环形，所述支撑板的内环直径为90mm-110mm，所述支撑板的宽度为6mm-10mm。10.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，所述晶圆插板为多个且环绕所述支撑板的周向对齐分布。11.根据权利要求1所述的晶舟结构，其特征在于，所述晶圆支撑部为多个，多个所述晶圆支撑部沿所述支撑杆的轴向将隔开设置。12.根据权利要求1-11任一项所述的晶舟结构，其特征在于，所述支撑板上形成有多个凸起以支撑所述晶圆。13.根据权利要求12所述的晶舟结构，其特征在于，多个所述凸起沿所述支撑板的周向均匀间隔开分布。14.一种晶舟组件，其特征在于，包括：根据权利要求1-13中任一项所述的晶舟结构；晶圆传送装置，所述晶圆传送装置包括晶圆传送手臂，所述晶圆传送手臂形成U型结构且所述U型结构的开口朝向所述晶舟结构，所述U型结构的开口宽度大于所述支撑板的最大宽度且允许所述支撑板穿过。15.根据权利要求14所述晶舟组件，其特征在于，所述晶圆传送手臂包括相互平行的第一平板和第二平板以及连接板，所述连接板形成为弧形且分别与所述第一平板和所述第二平板相连，所述第一平板和所述第二平板之间的垂直距离为150mm-200mm。16.一种扩散炉，其特征在于，包括权利要求1-13中任一项所述的晶舟结构。2CN114438600A说明书1/5页晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉技术领域[0001]本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种晶舟结构、晶舟组件和扩散炉。背景技术[0002]现有技术的晶圆在制备或者运输过程中，晶圆的存放尤其重要，在晶圆的制造中尤其是12寸以及以下的晶圆的制造中，例如扩散炉设备中，晶舟结构用于存放晶圆，一般晶舟结构普遍采用三点式设计，由于温度变化导致晶圆受应力作用容易发生