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用于基板处理设备的基板托盘传送系统.pdf
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用于基板处理设备的基板托盘传送系统.pdf
提供用于基板处理系统的传送机器人的方法和设备，基板处理系统包括耦接到多个处理腔室的传送腔室。传送腔室包含：传送机器人，传送机器人包含基底，基底耦接至支撑杆；以及托盘盒，托盘盒固定至基底，其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体，第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至多个处理腔室中的一个处理腔室中的基座，第二托盘载体堆叠在第一托盘载体上，第二托盘载体用于固持第二托盘，其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。
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