

用于基板处理设备的基板托盘传送系统.pdf
一只****ng
亲,该文档总共35页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
用于基板处理设备的基板托盘传送系统.pdf
提供用于基板处理系统的传送机器人的方法和设备,基板处理系统包括耦接到多个处理腔室的传送腔室。传送腔室包含:传送机器人,传送机器人包含基底,基底耦接至支撑杆;以及托盘盒,托盘盒固定至基底,其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体,第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至多个处理腔室中的一个处理腔室中的基座,第二托盘载体堆叠在第一托盘载体上,第二托盘载体用于固持第二托盘,其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。
用于处理基板的设备和用于处理基板的方法.pdf
本发明构思提供了一种基板处理设备。在实施方式中,所述基板处理设备包括:处理室,在所述处理室中具有用于处理基板的处理空间;基板支撑单元,所述基板支撑单元被配置为在所述处理空间中支撑所述基板;以及微波施加单元,所述微波施加单元被配置为向所述处理空间施加微波,并且其中所述微波施加单元包括基于固态器件的微波功率发生器。
用于处理基板的传送单元和装置.pdf
本发明提供了一种用于传送基板的装置。传送基板的单元被描述为包括:支撑结构、用于放置基板的第一手部、与第一手部堆叠并且放置基板的第二手部、在支撑结构中引导第一支撑杆的运动以支撑第一手部的第一导轨、在支撑结构中引导第二支撑杆的运动以支撑第二手部的第二导轨、以及减小设置在支撑结构中的排放流体通道的压力的减压构件。排放流体通道包括:与第一导轨连通的第一流体通道、与第二导轨连通的第二流体通道、以及通过将第一流体通道和第二流体通道组合形成的第三流体通道。减压构件减小第三流体通道的压力。
基板传送系统以及基板定位装置.pdf
本发明涉及一种基板传送系统,包括用于供玻璃基板在其上流动传送的若干滚轮组件、以及控制滚轮组件转动的控制器;该基板传送系统还包括基板定位装置,设置在滚轮组件的传送玻璃基板方向的末端;基板定位装置包括定位柱,用于挡止并定位经滚轮组件传送的玻璃基板;以及缓冲定位机构,供定位柱安装,为定位柱提供移动缓冲并带动定位柱复位。通过设置缓冲复位机构来控制定位柱的位置,进而可以消除基板的定位偏差;能够给基板缓冲接触,消除破片风险。
基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法.pdf
本发明涉及基板传送技术领域,公开了一种基板传送装置、基板传送设备及其拆卸方法。基板传送装置包括多个基板传送单元,每个基板传送单元包括旋转轴,固定轴、套设于旋转轴和固定轴的多个滚轮以及锁定结构,其中:旋转轴设置于多个滚轮的中心,多个滚轮可绕旋转轴转动,且可沿旋转轴的长度方向移动;固定轴包括固定轴本体以及凸出固定轴本体的多个定位凸块,定位凸块与滚轮一一对应设置,固定轴设置于多个滚轮的中心与边缘之间;滚轮具有避让定位凸块的避让位以及与避让位连通的限位槽,定位凸块可在分别转动至与其对应设置的滚轮的避让位后,限位于