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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115335977A(43)申请公布日2022.11.11(21)申请号202080098832.5(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理(22)申请日2020.03.26有限公司11006专利代理师徐金国赵静(30)优先权数据62/992,6902020.03.20US(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日H01L21/677(2006.01)2022.09.20H01L21/673(2006.01)(86)PCT国际申请的申请数据PCT/US2020/0249472020.03.26(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/188122EN2021.09.23(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人栗田真一阿部忍申昌憙小若雅彦蔡容基权利要求书1页说明书11页附图22页(54)发明名称用于基板处理设备的基板托盘传送系统(57)摘要提供用于基板处理系统的传送机器人的方法和设备,基板处理系统包括耦接到多个处理腔室的传送腔室。传送腔室包含:传送机器人,传送机器人包含基底,基底耦接至支撑杆;以及托盘盒,托盘盒固定至基底,其中托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体,第一托盘载体用于固持第一托盘并将第一托盘从托盘盒传送至多个处理腔室中的一个处理腔室中的基座,第二托盘载体堆叠在第一托盘载体上,第二托盘载体用于固持第二托盘,其中第一托盘载体与第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。CN115335977ACN115335977A权利要求书1/1页1.一种基板处理系统,包含:传送腔室,所述传送腔室耦接至处理腔室,其中所述处理腔室中包含基座,所述传送腔室包含:传送机器人,所述传送机器人包含基底,所述基底耦接至支撑杆;和托盘盒,所述托盘盒固定至所述基底,其中所述托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体,所述第一托盘载体用于固持第一托盘并将所述第一托盘从所述托盘盒传送至所述处理腔室中的所述基座,所述第二托盘载体堆叠在所述第一托盘载体上,所述第二托盘载体用于固持第二托盘,其中所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个包含多个摩擦减小装置。2.如权利要求1所述的系统,其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含磁悬浮组件。3.如权利要求1所述的系统,其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含一个或多个磁铁,所述一个或多个磁铁耦接至所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个。4.如权利要求3所述的系统,其中所述一个或多个磁铁包含线性轨。5.如权利要求4所述的系统,其中所述线性轨包含多个线性轨。6.如权利要求1所述的系统,其中所述多个摩擦减小装置中的每一个包含辊组件。7.如权利要求6所述的系统,其中所述辊组件包含多个辊,所述多个辊耦接至所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个。8.如权利要求1所述的系统,其中所述多个处理腔室中的所述一个处理腔室包含开口,所述开口中定位有摩擦减小装置。9.如权利要求8所述的系统,其中所述摩擦减小装置包括一个或多个磁铁。10.如权利要求8所述的系统,其中所述摩擦减小装置包括一个或多个辊。11.一种传送机器人,包含:基底,所述基底耦接至支撑杆;和托盘盒,所述托盘盒固定至所述基底,其中所述托盘盒包含第一托盘载体与第二托盘载体,所述第一托盘载体用于固持第一托盘并将所述第一托盘从所述托盘盒传送至基座,所述第二托盘载体用于固持第二托盘,其中所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个垂直堆叠并包含磁悬浮组件。12.如权利要求11所述的系统,其中所述磁悬浮组件包含一个或多个磁铁,所述一个或多个磁铁耦接至所述第一托盘载体与所述第二托盘载体中的每一个。13.如权利要求12所述的系统,其中所述一个或多个磁铁包含线性轨。14.如权利要求13所述的系统,其中所述线性轨包含多个线性轨。15.如权利要求11所述的系统,其中所述第一托盘载体和所述第二托盘载体中的每一个均包括多个横向构件。2CN115335977A说明书1/11页用于基板处理设备的基板托盘传送系统技术领域[0001]本公开内容的实施方式一般涉及一种用于在处理系统中传送基板托盘的传送系统。更特定而言,本文的实施方式涉及用于在处理系统中运输太阳能电池基板的托盘传送系统。背景技术[0002]太阳能电池为将阳光直接转换成电力的光伏(PV)装置。最常见的太阳能电池材料是单晶或多晶基板形式的硅。因为形成硅基太阳能电池以发电的摊销成本目前高于使用传统方法发电的成本,所以希望降低使用硅基板形成太阳能电池的成本。[0003]当前,为了在用于PV应用的硅基板上形成膜层,将多个这样的基板放置在载体或托盘上,载体或托盘在用于处理基板或在其上形成膜层的各种处理腔室之间传送