匣固定装置和具有该装置的运载工具.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108807246A(43)申请公布日2018.11.13(21)申请号201810373649.6(22)申请日2018.04.24(30)优先权数据10-2017-00537742017.04.26KR(71)申请人细美事有限公司地址韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五77(72)发明人梁栋雄成爀济金仁东白哲俊(74)专利代理机构上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)31239代理人余文娟(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称匣固定装置和具有该装置的运载工具(57)摘要匣固定装置包括支撑构件和驱动部，支撑元件设置在沿顶板的行进轨道行进的运载工具内部，分别支撑由运载工具所保持的匣的侧表面的前端和后端以防止匣振动，并配置成避免匣旋转时的干扰；驱动部用于使支撑构件沿垂直于匣前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在支撑位置处支撑构件支撑匣的侧表面，在缩回位置处支撑构件从支撑位置缩回以使匣接收在运载工具中。CN108807246ACN108807246A权利要求书1/1页1.匣固定装置，包括：支撑构件，其设置在沿顶板的行进轨道行进的运载工具内部，分别支撑由所述运载工具保持的匣的侧表面的前端和后端以防止所述匣振动，并配置成避免所述匣旋转时的干扰；和驱动部，其用于使所述支撑构件沿垂直于所述匣的前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在所述支撑位置处所述支撑构件支撑所述匣的所述侧表面，在所述缩回位置处所述支撑构件从所述支撑位置缩回以使所述匣接收在所述运载工具中。2.如权利要求1所述的匣固定装置，还包括防掉落构件，其固定至所述支撑构件的下表面并设置在所述匣的下方以在所述匣掉落时支撑所述匣的所述下表面。3.如权利要求1所述的匣固定装置，还包括：基板，其固定至所述运载工具内部并且所述驱动部安装至其上；和可动板，其堆叠并安装到所述基板上，以便其可沿所述水平方向相对于所述基板移动，且所述支撑构件安装到所述可动板上，其中所述驱动部使所述可动板沿所述水平方向移动以使所述支撑构件往复运动。4.如权利要求3所述的匣固定装置，还包括：固定销，其通过所述可动板固定至所述支撑构件，并连接所述可动板和所述支撑构件；和螺旋弹簧，其布置在所述可动板和所述支撑构件之间以围绕所述固定销，以减少所述支撑构件与所述匣形成接触时产生的撞击。5.如权利要求3所述的匣固定装置，还包括多个传感器，其设置在所述基板上用于感测所述可动板的位置以检测所述支撑构件的位置。6.如权利要求1所述的匣固定装置，其中所述支撑构件由具有低摩擦系数的材料制成，以防止由于所述支撑构件与所述匣之间的摩擦而产生颗粒。7.运载工具，包括：行进装置，其沿顶板的行进轨道行进；传送装置，其连接至所述行进装置并将匣保持在其中以传送所述匣；和匣固定装置，其包括支撑构件和驱动部，所述支撑构件设置在所述传送装置内部，分别支撑所述匣的侧表面的前端和后端以防止所述匣振动，并配置成避免所述匣旋转时的干扰，所述驱动部用于使所述支撑构件沿垂直于所述匣的前后方向的水平方向在支撑位置和缩回位置之间往复运动，其中在所述支撑位置处所述支撑构件支撑所述匣的所述侧表面，在所述缩回位置处所述支撑构件从所述支撑位置缩回以使所述匣接收在所述传送装置中。2CN108807246A说明书1/5页匣固定装置和具有该装置的运载工具背景技术[0001]本发明涉及一种匣固定装置及具有该装置的运载工具。更具体地，本发明涉及用于防止由运载工具所保持的匣振动和掉落的匣固定装置及具有该匣固定装置的运载工具。[0002]通常，用于制造半导体器件的半导体处理设备可连续布置以在半导体衬底上执行各种处理。半导体器件制造工艺的对象(诸如晶圆)可以容纳于匣中的状态提供给各半导体处理设备，或可从各半导体处理设备上卸下。[0003]匣可由OHT(OverheadHoistTransport，高架提升传输)传输。OHT包括沿半导体生产线的顶板(ceiling)设置的行进轨道和保持匣并沿行进轨道行进的运载工具，半导体处理设备连续布置在半导体生产线中。[0004]当运载工具行进时，匣中可能发生振动，振动可能导致匣从运载工具中掉落。因此，运载工具包括用于防止匣振动和掉落的匣固定装置。[0005]匣固定装置具有用于支撑匣的侧表面的中央部分的支撑构件。支撑构件可在用于支撑匣的支撑位置和缩回位置之间往复运动。[0006]然而，当匣的尺寸增加时，即使支撑构件处于缩回位置，匣和支撑构件也可能在匣旋转时相互干扰。因此，匣的旋转可能是令人讨厌的。[0007]由于运载工具的空间限制，改变匣固定装置的缩回位置以防止匣与支撑构件之间的