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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116005232A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310029051.6(22)申请日2023.01.09(71)申请人昆山东威科技股份有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧申请人昆山沪利微电有限公司(72)发明人余丞博卞和平黄建胥勇张翔(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师李林(51)Int.Cl.C25D17/00(2006.01)C25D21/00(2006.01)C25D21/10(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图4页(54)发明名称电镀装置(57)摘要本发明属于电镀设备技术领域,公开了一种电镀装置,其包括上槽体和若干个电镀组件,上槽体用于容纳若干个电镀组件和药液,若干个电镀组件沿第一方向间隔设置,电镀组件包括沿第二方向相对且间隔设置的两个阳极盒,两个阳极盒之间设有待镀件,阳极盒朝向待镀件的一侧设有离子膜,离子膜可透过离子态物质,阳极盒内设有阳极,每个阳极盒内为阳极区域,两个阳极盒之间形成阴极区域,两个阳极区域和阴极区域相互独立,每个阳极区域内的药液以及阴极区域内的药液之间通过离子膜互通。通过上述结构能够实现上阳极区、下阳极区以及阴极区之间的三区分离,实现各个区域内的电解液互不干扰,进而提高了电镀的均匀性。CN116005232ACN116005232A权利要求书1/1页1.电镀装置,其特征在于,包括上槽体(10)和若干个电镀组件(20),所述上槽体(10)用于容纳若干个所述电镀组件(20)和药液,若干个所述电镀组件(20)沿第一方向间隔设置,所述电镀组件(20)包括沿第二方向相对且间隔设置的两个阳极盒(21),两个所述阳极盒(21)之间设有待镀件(22),所述阳极盒(21)朝向所述待镀件(22)的一侧设有离子膜(23),所述离子膜(23)可透过离子态物质,所述阳极盒(21)内设有阳极(24),每个所述阳极盒(21)内为阳极区域,两个所述阳极盒(21)之间形成阴极区域,两个所述阳极区域和所述阴极区域相互独立,每个所述阳极区域内的所述药液以及所述阴极区域内的所述药液之间通过所述离子膜(23)相互隔离,所述第二方向垂直于所述第一方向。2.根据权利要求1所述的电镀装置,其特征在于,所述阳极盒(21)包括框架结构(211)和隔离板(212),所述隔离板(212)密封设置所述框架结构(211)朝向所述待镀件(22)的一侧,所述隔离板(212)上开设有若干个通孔(2121),所述离子膜(23)贴附于所述隔离板(212)并覆盖各个所述通孔(2121)。3.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述隔离板(212)呈预设角度倾斜设置。4.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述阳极盒(21)远离所述待镀件(22)的一侧为开口,所述阳极(24)能从所述开口装入所述阳极盒(21)内。5.根据权利要求2所述的电镀装置,其特征在于,所述上槽体(10)内还设有挡板(25),所述挡板(25)设置于所述电镀组件(20)沿第三方向的一侧,并与所述电镀组件(20)间隔设置,所述第三方向分别垂直于所述第一方向和所述第二方向,靠近所述上槽体(10)底部的所述阳极盒(21)的所述隔离板(212)沿所述第三方向延伸并与所述挡板(25)的一端密封连接,靠近所述上槽体(10)底部的所述阳极盒(21)内的所述框架结构(211)朝向所述挡板(25)的一侧设有过孔,所述挡板(25)与所述上槽体(10)的侧壁之间形成排气通道,所述阳极盒(21)内的气泡能从所述过孔至所述排气通道内并从所述排气通道排出。6.根据权利要求5所述的电镀装置,其特征在于,远离所述上槽体(10)底部的所述阳极盒(21)与所述挡板(25)之间形成阴极通道,所述电镀装置还包括夹具(26),所述夹具(26)能沿所述第一方向穿设于所述阴极通道,所述夹具(26)夹持所述待镀件(22)并能带动所述待镀件(22)沿所述第一方向穿设于所述阴极区域。7.根据权利要求1‑6任一项所述的电镀装置,其特征在于,所述阳极盒(21)还包括遮挡件(213),所述遮挡件(213)沿第三方向可移动设置于所述阳极(24)和所述待镀件(22)之间,所述第三方向分别垂直于所述第一方向和所述第二方向。8.根据权利要求1‑6任一项所述的电镀装置,其特征在于,所述电镀装置还包括两个药液循环组件和喷淋系统(30),两个所述药液循环组件分别设置于两个所述阳极区域内,所述喷淋系统(30)设置于所述阴极区域内。9.根据权利要求8所述的电镀装置,其特征在于,所述喷淋系统(30)包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个喷淋组件(31),每个所述喷淋组件(31)均包括若干个喷头(311),两个沿所述第二