电镀装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116024637A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202310029052.0(22)申请日2023.01.09(71)申请人昆山东威科技股份有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市巴城镇东定路东侧申请人昆山沪利微电有限公司(72)发明人余丞博卞和平黄建胥勇张翔(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332专利代理师李林(51)Int.Cl.C25D17/00(2006.01)C25D21/04(2006.01)C25D21/10(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称电镀装置(57)摘要本发明属于电镀设备技术领域，公开了一种电镀装置，其包括电镀组件和两个抽气组件；电镀组件设置于电解液中，电镀组件内包括沿竖直方向间隔设置的两个阳极盒，两个阳极盒之间形成阴极区域，每个阳极盒均设有开口，气体能从开口排出；两个抽气组件分别密封连接于两个阳极盒的开口处，抽气组件能够将阳极盒内电解液的液面至开口之间形成负压，以将电解液内的气泡加速排出。通过上述结构，能够进一步加快气泡地排出，进而提高电镀装置的电镀质量和均匀性。CN116024637ACN116024637A权利要求书1/1页1.电镀装置，其特征在于，包括：电镀组件(10)，设置于电解液中，所述电镀组件(10)内包括沿竖直方向间隔设置的两个阳极盒(11)，两个所述阳极盒(11)之间形成阴极区域，每个所述阳极盒(11)均设有开口，气体能从所述开口排出；两个抽气组件(20)，分别密封连接于两个所述阳极盒(11)的所述开口处，所述抽气组件(20)能够将所述阳极盒(11)内所述电解液的液面至所述开口之间形成负压。2.根据权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，所述抽气组件(20)包括：连接件(21)，密封连接于所述阳极盒(11)的所述开口处；负压发生器，连通于所述连接件(21)，所述负压发生器能驱动所述连接件(21)吸取所述阳极盒(11)的所述开口处的气体，以使所述阳极盒(11)的所述开口处形成负压。3.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述抽气组件(20)还包括调压器，所述调压器连接于所述负压发生器，所述调压器能够调节所述负压发生器吸收的气体量，以调节所述阳极盒(11)的所述开口处的压强大小。4.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述抽气组件(20)还包括驱动件，所述驱动件驱动连接于所述负压发生器。5.根据权利要求2所述的电镀装置，其特征在于，所述抽气组件(20)还包括检测件(22)，所述检测件(22)设置于所述连接件(21)处，所述检测件(22)用于检测所述阳极盒(11)的所述开口处的压强。6.根据权利要求5所述的电镀装置，其特征在于，所述检测件(22)为气压传感器。7.根据权利要求1‑6任一项所述的电镀装置，其特征在于，每个所述阳极盒(11)内的所述电解液和所述阴极区域内的所述电解液之间相互独立。8.根据权利要求1‑6任一项所述的电镀装置，其特征在于，每个所述阳极盒(11)均连通有引流装置(30)，所述引流装置(30)能令所述阳极盒(11)内的所述电解液朝向一侧运动。9.根据权利要求8所述的电镀装置，其特征在于，所述引流装置(30)包括：循环泵(31)，所述电解液能被所述循环泵(31)驱使并流入所述阳极盒(11)内，再被所述循环泵(31)从所述阳极盒(11)内吸出；进管(32)，一端连通于所述阳极盒(11)的一侧，另一端连通于所述循环泵(31)；出管(33)，一端连通于所述阳极盒(11)的另一侧，另一端连通于所述循环泵(31)。10.根据权利要求9所述的电镀装置，其特征在于，所述进管(32)设置于所述阳极盒(11)的一个侧壁的底部，所述出管(33)设置于所述阳极盒(11)相对的另一个侧壁的顶部。2CN116024637A说明书1/5页电镀装置技术领域[0001]本发明涉及电镀设备技术领域，尤其涉及一种电镀装置。背景技术[0002]现有的水平电镀设备中，待镀件在电镀槽中水平运行，电镀槽内设有多个阳极盒，阳极盒包括上阳极区、下阳极区以及处于两个阳极区中间的阴极，阴极即为待镀件，阳极材料放置在阳极盒中，通过在电镀槽内填充电镀液，并将阳极和阴极电连接，即可实现电镀液中的阳离子附着到阴极上形成镀层。目前阳极材料采用不溶性阳极，在电镀过程中，位于阳极区域的电解液电解析出氧气，在电镀液中形成氧气泡，而在电解液中，氧气气泡一般是通过缓慢地集结，变大后上浮自然排出，这会导致大量地氧气气泡在电解液中停滞许久，会对该电解反应产生影响，进而影响电镀的均匀性和质量。[0003]现有技术中如CN110791803A的早期专利公开了一种水平电镀铜的装置，该装置在待镀物体与电镀阳极之间设