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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116013817A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202310072551.8(22)申请日2023.01.17(71)申请人上海季丰电子股份有限公司地址201100上海市闵行区友东路258-288号2幢101室(72)发明人孟培培倪卫华(74)专利代理机构北京嘉科知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11687专利代理师杨波(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图2页(54)发明名称芯片封装破除装置及方法(57)摘要本公开涉及芯片开封技术领域,提供了一种芯片封装破除装置及方法。该芯片封装破除装置包括:芯片固定座,用于固定待破除封装的目标芯片;激光器,用于产生激光;激光移位控制器,用于对激光在目标芯片上的照射点进行移位控制,以使得照射点位于目标芯片的目标位置;可见光相机,用于获取目标芯片的可见光相机图像;红外相机,用于获取目标芯片的红外图像;总控制器,用于根据可见光相机图像获取目标芯片的位置,根据红外图像获取照射点的位置,并根据目标芯片的位置和照射点的位置生成第一控制信号,以使得激光移位控制器控制照射点在目标芯片的设定范围内受控移动,对设定范围内的目标芯片结构进行烧蚀破除。CN116013817ACN116013817A权利要求书1/2页1.一种芯片封装破除装置,其特征在于,所述芯片封装破除装置包括:芯片固定座,用于固定待破除封装的目标芯片;激光器,用于产生激光;激光移位控制器,用于对所述激光在所述目标芯片上的照射点进行移位控制,以使得所述照射点位于所述目标芯片的目标位置;可见光相机,用于获取所述目标芯片的可见光相机图像;红外相机,用于获取所述目标芯片的红外图像;总控制器,用于根据所述可见光相机图像获取所述目标芯片的位置,根据所述红外图像获取所述照射点的位置,并根据所述目标芯片的位置和所述照射点的位置生成第一控制信号,以使得所述激光移位控制器控制所述照射点在所述目标芯片的设定范围内受控移动,对所述设定范围内的目标芯片结构进行烧蚀破除。2.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述激光移位控制器包括第一镜片和第二镜片,通过第一控制信号控制所述第一镜片和所述第二镜片的偏转方向,能够控制进入所述激光移位控制器的所述激光的出射方向。3.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述总控制器还用于根据所述红外图像获取所述照射点的温度、根据所述温度判断所述激光当前烧蚀的烧蚀材料,并根据所述烧蚀材料生成第二控制信号,以控制所述激光器调整所述激光的功率。4.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述可见光相机包括电荷耦合器件CCD相机。5.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述芯片封装破除装置还包括光源,用于对所述芯片固定座进行照明,改变进入所述可见光相机的光线的亮度。6.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述总控制器还用于根据所述红外图像获取所述照射点的温度、根据所述温度判断所述照射点是否为所述激光的焦点,并根据判断结果生成焦点调整信号,以对激光器的高度进行调整。7.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述总控制器还包括通信模块,用于和上位机通信,将所述目标芯片的位置和所述照射点的位置上传到所述上位机,并接收所述上位机反馈的反馈控制信号,根据所述反馈控制信号生成第一控制信号。8.根据权利要求7所述的芯片封装破除装置,其特征在于,所述总控制器还用于根据所述红外图像获取所述照射点的温度、根据所述温度判断所述激光当前烧蚀的烧蚀材料,并将所述照射点的温度和所述烧蚀材料上传到所述上位机,以使得所述上位机存储并在屏幕上显示所述温度和所述烧蚀材料。9.根据权利要求1所述的芯片封装破除装置,其特征在于,芯片封装破除装置还包括支撑架,所述支撑架与所述芯片固定座连接,并与所述激光器、所述激光移位控制器、所述可见光相机、所述红外相机分别转动连接,用于分别调整所述激光器、所述激光移位控制器、所述可见光相机、所述红外相机的高度和水平位置。10.一种应用权利要求1至9任一项所述的芯片封装破除装置的芯片封装破除方法,其特征在于,所述方法包括:根据可见光相机拍摄的可见光相机图像获取目标芯片的位置,其中,所述目标芯片位于芯片固定座上;2CN116013817A权利要求书2/2页根据红外相机拍摄的红外图像获取激光在所述目标芯片上的照射点的位置,其中,所述激光由激光器产生,并在激光移位控制器的移位控制下使得所述激光在所述目标芯片上的照射点位于所述目标芯片的目标位置;根据所述目标芯片的位置和所述照射点的位置生成第一控制信号,以使得所述激光移位控制器控制所述照射点在所述目标芯片的