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本发明提供一种牺牲层辅助的超薄柔性压力传感器制备方法,属于微机电系统(MEMS)和微纳米加工技术领域。首先,选择两个相同的施主基片A、B,在施主基片A、B表面均沉积一层牺牲层。其次,在施主基片A的牺牲层表面沉积一层聚对二甲苯,并在聚对二甲苯表面通过光刻工艺制作金叉指电极结构。再次,在施主基片B的牺牲层表面旋涂一层聚二甲基硅氧烷,并在聚二甲基硅氧烷基表面通过喷涂工艺制作碳纳米管导电薄膜。最后,将金叉指电极结构对准碳纳米管导电薄膜贴合并放置在水中,溶解去除牺牲层PAA,得到超薄柔性压力传感器。本发明具有工艺简单、通用性好的特点,通用性好且制备过程柔和没有应力产生,不会破坏超薄柔性压力传感器。