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一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置.pdf
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一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置.pdf
本发明公开了一种晶圆旋转机构和晶圆处理装置,该机构包括主动轮组件和从动轮组件;所述主动轮组件包括前压盖、后压盖和驱动轮,所述前压盖和后压盖配合将驱动轮夹紧在二者之间,所述驱动轮的侧边缘具有环形卡槽,所述环形卡槽用于抵接晶圆并带动晶圆旋转,所述环形卡槽由弹性材料制成,所述环形卡槽包括两个相对的用于限位晶圆的侧壁,所述侧壁的内侧具有倾斜的引导面。
2023-05-26
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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆处理装置及晶圆处理方法。所述晶圆处理装置包括：支撑台，具有用于承载晶圆的承载面；喷嘴，位于所述支撑台上方，且仅具有气体喷口，所述喷嘴能够沿与所述承载面平行的方向移动，所述气体喷口用于向所述承载面上承载的所述晶圆喷射气体，以除去所述晶圆表面残留的液体。本发明一方面，减少了所述晶圆表面液体的残留；另一方面，减少甚至是避免了晶圆易出现图案坍塌的问题，提高了晶圆产品的良率。
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