一种CrSi基合金靶材及其制备方法.pdf
阳炎****找我
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
一种CrSi基合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法,所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成:Si1?30%;Me0?10%,余量为Cr;其中,Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi<base:Sub>2</base:Sub>合金粉、Cr粉,或者选择CrSi<base:Sub>2</base:Sub>合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材;制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高,晶粒尺寸均匀,且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大,易开裂、难
一种镍基合金靶材的制备方法.pdf
本发明公开了一种镍基合金靶材的制备方法,属于金属靶材制备领域。该方法包括以下步骤:首先将铝和钇一同置于真空熔炼炉内的坩埚里,进行熔炼得到铝钇中间合金熔液,然后浇铸到模具中得到铝钇中间合金;其次将铝钇中间合金、镍、铬、硅与硼一同置于真空熔炼炉内的坩埚里,进行熔炼得到镍铬铝钇硅硼熔液,然后浇铸到模具中得到镍基六元合金实心圆锭坯;最后将镍基六元合金实心圆锭坯依次进行热等静压处理、热挤压处理、退火、校直冷却、机加工后,得到镍铬铝钇硅硼管靶。该方法大幅度提高了镍基合金的致密度,细化晶粒,克服了高、低熔点物的偏析问题
一种CdIn合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种CdIn合金靶材及其制备方法,属于靶材制备领域。本发明制备CdIn合金旋转靶通过熔炼法制备,简单快速,成本低廉。本发明制备方法不受制于热压烧结设备及烧结模具的限制,可实现尺寸和形状的自由调整。本发明铸造法制备的靶材具有较高的密度,致密度接近100%,明显优于烧结法制备的掺铟氧化镉靶材95%的致密度。铸造CdIn合金靶材较大程度保留了合金的金属性能,具有良好的塑性和韧性,克服了烧结法制备的掺铟氧化镉靶材脆性极大,磕碰及靶材溅射过程工艺控制稍微不良就可能造成开裂导致报废靶材的缺点。
一种铝合金靶材及其制备方法.pdf
本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法,属于靶材制备领域。本发明提出将铝铜铸锭旋转锻打、轧制整形、热处理得到靶材胚料。将靶材胚料和铝合金背板进行V型齿槽加工,卡合后进行冷等静压处理和V型齿结合边缘凹面电子束焊接得到铝合金靶材。本发明运用冷等静压处理与电子束焊接相结合的方式保证结合率高于98%。V型齿啮合技术,增大结合面面积,大大提高结合率,同时降低人工成本,减少传统绑定能耗,提高了人员舒适性。冷等静压处理二次循环压制工艺,极大的保证了靶材结合强度以及一定程度上减少了杂质的渗入,保证了靶材完整性。本发明铝合
ZnSn合金靶材及其制备方法.pdf
本发明涉及一种ZnSn合金靶材及其制备方法。ZnSn合金靶材的制备方法,包括如下步骤:将Zn粉末和Sn粉末混合均匀,得到混合粉体;对混合粉体进行预压成型,压力为400T以上并保压处理,得到ZnSn合金毛坯;采用冷等静压的工艺对ZnSn合金毛坯进行强化处理,得到ZnSn合金靶坯;以及对ZnSn合金靶坯进行绑定成型,得到ZnSn合金靶材。本发明技术方案的ZnSn合金靶材的制备方法,采用粉末状态的原料Zn和Sn,之后先将混合粉体预压得到具有初步形状的ZnSn合金毛坯,再采用冷等静压进行强化处理,能够得到致密度和