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本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法,所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成:Si1?30%;Me0?10%,余量为Cr;其中,Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉,或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材;制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高,晶粒尺寸均匀,且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大,易开裂、难加工的问题。