一种用于单晶炉的单晶提升机构及单晶炉.pdf
雨巷****凝海
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一种用于单晶炉的单晶提升机构及单晶炉.pdf
本发明涉及一种用于单晶炉的单晶提升机构,包括晶转组件、晶升组件和定滑轮组件,晶转组件的顶部与晶升组件相连,且定滑轮组件设置于晶升组件上。晶升组件包括连接底盘、箱体、卷丝结构和压线结构。卷丝结构能够缠绕多圈卷丝绳,且能够通过旋转对卷丝绳进行收放。压线结构设置于卷丝结构的一侧,当卷丝绳出现跳线的情况时,压线结构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳,以使卷丝绳与卷丝结构重新相抵。定滑轮组件设置于晶升组件上,定滑轮组件用于将卷丝绳旋转转变为上下升降。通过在卷丝结构的一侧设置压线结构,在卷丝绳出现跳绳的现象时,当卷丝绳
用于单晶炉的坩埚组件和单晶炉.pdf
本发明公开了一种用于单晶炉的坩埚组件和单晶炉,包括第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚,第一坩埚内限定出盛放空间,第二坩埚设在盛放空间内且与第一坩埚共同限定出第一腔室,第三坩埚设在第二坩埚内且与第二坩埚共同限定出第二腔室,第三坩埚内限定出第三腔室。其中,第二坩埚上形成有第一连通孔以连通第一腔室和第二腔室,第三坩埚上形成有第二连通孔以连通第二腔室和第三腔室,第一连通孔的孔径为d
用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉.pdf
本公开涉及用于单晶炉的坩埚支承组件和单晶炉,该用于单晶炉的坩埚支承组件包括:坩埚托盘,其用于支承坩埚;以及坩埚轴,其包括与动力源连接的第一端部和与坩埚托盘连接的第二端部,以用于通过由动力源驱动旋转而带动坩埚旋转,其中,坩埚支承组件设置有用于缓冲坩埚支承组件的震动的吸震结构。通过该坩埚支承组件,可以阻隔或至少减少震动向坩埚的传递,由此消除或至少减弱坩埚中硅溶液的液面的抖动,降低由此造成的晶体断线和晶体中形成疏松孔的风险。
用于单晶炉的外部装料机构.pdf
本发明涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备,旨在提供用于单晶炉的外部装料机构。该用于单晶炉的外部装料机构包括石英坩埚、真空吸盘、手动真空阀、真空表、密封圈和真空泵,真空吸盘上设有至少两个气咀,分别连接有手动真空阀和真空表,手动真空阀通过气咀与真空泵连接,真空吸盘通过密封圈和石英坩埚密封连接。本发明能在拉晶的任何时候将多晶硅料装入石英坩埚内,不需要等待擦炉完毕,再将石英坩埚先放入热场内再进行。使装料过程由全人工转变为机械化,节约了装料的时间,使操作更简单、便捷,同时也避免了装料过程中多晶硅原料碎屑掉入热场内带来
单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法.pdf
本发明公开了单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法,本发明设计的单晶炉加热装置,通过电源系统对第一发热体进行供热,且第一发热体再将热量快速传递到第二发热体,通过在第二发热体与第一发热体上边侧等距均匀设置热量传导柱,以及在对接环上嵌接设置的环形热量传导片的传导作用,保证单晶炉加热装置加热工作的均匀性,进而使得单晶硅受热均匀,保证其加工产品质量;且加热装置提供的热能充分,且不会造成能源的浪费,提升整体生产经济效益;满足实际生产需求。