单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115787084A(43)申请公布日2023.03.14(21)申请号202211428967.0(22)申请日2022.11.15(71)申请人浙江昱力机电科技有限公司地址312300浙江省绍兴市上虞区小越街道迎宾大道5218-1号(72)发明人许建枫祝林飞郝振庆曹林曹刚(51)Int.Cl.C30B27/02(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图8页(54)发明名称单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法(57)摘要本发明公开了单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法，本发明设计的单晶炉加热装置，通过电源系统对第一发热体进行供热，且第一发热体再将热量快速传递到第二发热体，通过在第二发热体与第一发热体上边侧等距均匀设置热量传导柱，以及在对接环上嵌接设置的环形热量传导片的传导作用，保证单晶炉加热装置加热工作的均匀性，进而使得单晶硅受热均匀，保证其加工产品质量；且加热装置提供的热能充分，且不会造成能源的浪费，提升整体生产经济效益；满足实际生产需求。CN115787084ACN115787084A权利要求书1/1页1.单晶炉，其特征在于：包括单晶炉主体(1)、加热装置(2)，所述单晶炉主体(1)中设置有加热装置(2)，且加热装置(2)通过设置的辅助配件(3)进行辅助加热。2.单晶炉加热装置，其用于单晶炉主体(1)中进行加热，其特征在于：所述加热装置(2)包含有第一发热体(21)、第二发热体(22)、对接环(230)、环形热量传导片(231)、热量传导柱(232)；所述辅助配件(3)包含有连接插槽(301)、辅助凸条(302)、螺纹槽(303)、安装螺丝(304)、半球形压头(305)、凹型连接块(306)、辅助斜面(307)、定位卡槽(308)、辅助斜坡(309)。3.根据权利要求2所述的单晶炉加热装置，其特征在于：所述第一发热体(21)固定连接设置在单晶炉主体(1)中，且第一发热体(21)和第二发热体(22)通过辅助配件(3)进行固定连接；所述第一发热体(21)和第二发热体(22)两者的一端都固定设置有对接环(230)，且对接环(230)的端部嵌接设置有环形热量传导片(231)，所述热量传导柱(232)等距固定设置在第一发热体(21)和第二发热体(22)的外侧壁，热量传导柱(232)的一端插接设置在对接环(230)中，且端部固定设置在环形热量传导片(231)上。4.根据权利要求2所述的单晶炉加热装置，其特征在于：所述第一发热体(21)和第二发热体(22)两者外侧壁上等距设置的热量传导柱(232)位置相对应、数量相同。5.根据权利要求2所述的单晶炉加热装置，其特征在于：所述连接插槽(301)等距设置在对接环(230)的外侧壁，且连接插槽(301)中的一侧固定设置有辅助凸条(302)，所述螺纹槽(303)等距设置在对接环(230)上，且螺纹槽(303)与连接插槽(301)相连通设置，螺纹槽(303)与安装螺丝(304)相适配螺纹连接，且安装螺丝(304)的一端固定设置有半球形压头(305)，所述凹型连接块(306)与连接插槽(301)相适配插接，且凹型连接块(306)两端的端部内侧设置有辅助斜面(307)，所述定位卡槽(308)对称设置在凹型连接块(306)的两侧，且定位卡槽(308)中的一侧设置有辅助斜坡(309)。6.根据权利要求5所述的单晶炉加热装置，其特征在于：所述辅助斜坡(309)与定位卡槽(308)、螺纹槽(303)、安装螺丝(304)设置位置相对应、设置组数相同；且安装螺丝(304)的直径与定位卡槽(308)的槽口宽度相等。7.根据权利要求5所述的单晶炉加热装置，其特征在于：所述辅助斜面(307)与连接插槽(301)中的辅助凸条(302)设置位置相对应、设置组数相同。8.一种如权利要求2‑7任意一项所述单晶炉加热装置的加热方法，其特征在于，该加热方法包括以下步骤：本发明通过设置的第一发热体(21)、第二发热体(22)与辅助配件(3)形成一个单晶炉加热装置，即形成一个大尺寸的热场，首先通过电源系统对第一发热体(21)进行供热，第一发热体(21)再将热量快速传递到第二发热体(22)，并与热量传导柱(232)之间的配合使用对单晶硅进行高效均匀加热，提升其整体加工质量。2CN115787084A说明书1/3页单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法技术领域[0001]本发明涉及单晶硅制备技术领域，具体为单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法。背景技术[0002]生产单晶硅常用的方法为直拉法，通过提拉单晶炉内坩埚中的液体硅料，可以形成纯度较高的硅棒，采用直拉法生产单晶硅时，单晶炉内需要设置用于给坩埚加热的加热装置；直拉