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快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法.pdf
2023-05-25
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英哲****公主
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相关资料
快速湿度传感器和用于校准快速湿度传感器的方法.pdf
根据本发明的示例方面,提供了一种形成在包括传感器框架(21)的衬底(12)上的传感器结构(19),传感器框架(21)包括用于传感器的电触点(1?6),传感器框架(21)内的有源传感器(22)至少包括电容式湿度传感器(9)。根据本发明,有源传感器(22)仅通过支撑有源传感器(22)的薄隔热层(14)连接到传感器框架(23),该隔热层(14)包括来自传感器框架(21)的电触点。
2023-05-25
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一种快速QCM湿度传感器及其应用和湿度传感器的制备方法.pdf
本发明提供一种二硫化钼、氧化石墨烯和富勒醇复合QCM湿度传感器及其制备方法，包括以下步骤：水热法合成二硫化钼纳米花；将所述二硫化钼纳米花粉末超声分散形成二硫化钼溶液，并与氧化石墨烯溶液和富勒醇溶液按照一定比例混合得到二硫化钼/氧化石墨烯/富勒醇复合分散溶液；取适量该复合分散液涂覆到QCM基片表面从而得到附着有二硫化钼/氧化石墨烯/富勒醇复合材料薄膜的QCM湿度传感器；本发明的QCM湿度传感器不仅具有很快的响应/恢复速度，还拥有着灵敏度高、重复性好、湿滞小、性能稳定的特点，且该传感器可以用于呼吸监测。
2023-08-04
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用于制造湿度传感器的方法及湿度传感器.pdf
一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)提供底部基板，b)在基板上或上方提供第一和电连接器件，c)提供绝缘层，用于将第一电极与电连接器件电绝缘，d)在第一电极的区域中的绝缘层上方提供无机多孔介电层，e)通过掠入射沉积在多孔介电层上方提供与电连接器件电连接的第二电极。此外，本发明涉及通过该方法获得的相对湿度传感器。
2023-06-25
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湿度传感器设备的校准.pdf
本发明涉及一种校准湿度传感器设备的方法，包括以下步骤：使用第一校准偏移由湿度传感器设备在环境中的第一温度下确定第一露点和第一相对湿度；然后加热湿度传感器设备，具体是通过自加热，以此加热环境至高于第一温度的第二温度；然后由湿度传感器设备在第二温度下确定第二露点；然后确定所确定的第二露点和所确定的第一露点的差是否大于预定差；以及然后，如果确定了所确定的第二露点和第一露点的差大于预定差，则将湿度传感器设备的第一校准偏移改变一预定值，以获得第二校准偏移。
2023-06-25
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制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器.pdf
本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)；b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)；c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)；且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。
2023-06-25
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