制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110618171A(43)申请公布日2019.12.27(21)申请号201910535279.6(22)申请日2019.06.20(30)优先权数据18305779.32018.06.20EP(71)申请人梅斯法国公司地址法国图卢兹(72)发明人E.杜鲁普特(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人贺紫秋(51)Int.Cl.G01N27/22(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图3页(54)发明名称制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器(57)摘要本发明涉及一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)；b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)；c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)；且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。本发明还涉及特别是通过本发明的方法获得的相对湿度传感器。CN110618171ACN110618171A权利要求书1/1页1.一种制造相对湿度传感器的方法，包括以下步骤：a)在基底(1)上或上方提供第一电极(3)，b)在第一电极(3)上方提供非多孔无机介电层(5)，c)在无机介电层(5)上方提供第二电极(7)，且然后d)穿过第二电极(7)在第二电极(7)和无机介电层(5)中形成孔洞(9)的图案。2.根据权利要求1所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，步骤d)包括通过光刻和/或干法刻蚀或湿法刻蚀形成孔洞的图案。3.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，非多孔无机介电层(5)采用氮化硅或碳化硅形成。4.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，孔洞具有圆柱形形状，特别是以蜂窝图案布置，或具有沟槽形状。5.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括利用孔洞来对第一电极(11)进行图案化的步骤。6.根据权利要求5所述的制造相对湿度传感器的方法，其中，第一电极(11)中的孔洞的图案(13)和第二电极(7)和介电层(5)中的孔洞的图案(15)相对彼此交错。7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，第一电极和第二电极中的孔洞的图案相同，但相对于彼此偏移。8.根据权利要求6或7所述的方法，其中，第一电极和第二电极中的孔洞布置为，当在垂直于层的方向上观察时，第一电极和第二电极中的孔洞不重叠。9.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括在形成第一电极(3，11)和/或第二电极(7)之前提供粘合层的步骤，粘合层特别是至少一个铬粘合层。10.根据前述权利要求中的任一项所述的制造相对湿度传感器的方法，还包括在第一和/或第二电极的上方提供覆盖层(21)的步骤。11.一种相对湿度传感器，特别是根据权利要求1至10中的一项制造的，包括：基底(1)；在基底(1)上或上方的第一电极(3)；在第一电极(3)上方的无机非多孔介电层(5)；以及在介电层(5)上方的第二电极(7)；其中，无机介电层(7)和第二电极(7)二者设置有具有相同的图案(9，15)的孔洞。12.根据权利要求11所述的相对湿度传感器，其中，无机介电层(5)采用氮化硅或碳化硅形成。13.根据权利要求11到12中任一项所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)被图案化。14.根据权利要求13所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)具有与第二电极(15)相同的图案(13)。15.根据权利要求14所述的相对湿度传感器，其中，第一电极(11)与第二电极(15)的图案(13)交错，特别地，第一电极的图案与第二电极的图案在垂直于层的方向(17)上不重叠。2CN110618171A说明书1/6页制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器技术领域[0001]本发明涉及用于制造相对湿度传感器的方法和相对湿度传感器。背景技术[0002]这种相对湿度传感器在现有技术中是已知的。US8,783,101B2公开了一种基于纳米结构氧化铝薄膜的相对湿度传感器。它包括由铝基板形成的阳极氧化铝薄膜，铝基板也用作一个电极。在阳极氧化铝薄膜上形成多孔金属层作为第二电极。该相对湿度传感器这样形成：冲压铝板，并对其进行阳极氧化以形成多孔氧化铝，然后通过溅射在氧化铝上形成多孔金属层。使用通过弹簧触头或导电胶连接到电极的可焊接电极引脚，可以将获得的传感器插入或焊接到电路中。[0003]然而，所公开的制造方法不能实现允许移除所有机械装配步骤并减少零件与零件之间的差异的高产量微加工方式。零件装配繁琐，可能导致对准精度不足。此外，可以观察到部件的不希望的分层。[0004]US4,651,121公开了另一种湿气传感器，包括基板、基板上