湿度传感器设备的校准.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111189890A(43)申请公布日2020.05.22(21)申请号201911104996.X(22)申请日2019.11.13(30)优先权数据18306487.22018.11.14EP(71)申请人梅斯法国公司地址法国图卢兹(72)发明人D.贝兹(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人贺紫秋(51)Int.Cl.G01N27/22(2006.01)G01N27/04(2006.01)G01N25/66(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图5页(54)发明名称湿度传感器设备的校准(57)摘要本发明涉及一种校准湿度传感器设备的方法，包括以下步骤：使用第一校准偏移由湿度传感器设备在环境中的第一温度下确定第一露点和第一相对湿度；然后加热湿度传感器设备，具体是通过自加热，以此加热环境至高于第一温度的第二温度；然后由湿度传感器设备在第二温度下确定第二露点；然后确定所确定的第二露点和所确定的第一露点的差是否大于预定差；以及然后，如果确定了所确定的第二露点和第一露点的差大于预定差，则将湿度传感器设备的第一校准偏移改变一预定值，以获得第二校准偏移。CN111189890ACN111189890A权利要求书1/1页1.一种校准湿度传感器设备的方法，包括以下步骤：a)使用第一校准偏移由湿度传感器设备在环境中的第一温度下确定第一露点和第一相对湿度；b)然后加热湿度传感器设备，具体是通过自加热，以此加热环境至高于第一温度的第二温度；c)然后由湿度传感器设备在第二温度下确定第二露点；d)然后确定所确定的第二露点和所确定的第一露点的差是否大于预定差；以及e)然后，如果确定了所确定的第二露点和所确定的第一露点的差大于预定差，则将湿度传感器设备的第一校准偏移改变一预定值，以获得第二校准偏移。2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一和第二校准偏移与湿度传感器设备确定的相对湿度相关；并且i)如果确定了第二露点低于所确定的第一露点，则将第一校准偏移增加所述预定值；并且ii)如果确定了第二露点高于所确定的第一露点，则将第一校准偏移降低所述预定值。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述预定值是第一校准偏移的某预定函数。4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，还包括以下依次进行的步骤：f)基于经改变的校准偏移确定第一露点的新值；g)然后由湿度传感器设备在第三温度下确定第三露点；h)然后确定所确定的第三露点和第一露点的所确定的新值的差是否大于预定差；以及i)然后，如果确定了所确定的第三露点和第一露点的所述确定的新值的差大于所述预定差，则以将湿度传感器设备的校准偏移改变所述预定值。5.根据权利要求4所述的方法，还包括重复步骤f)至i)，直到在步骤g)中确定的所确定的相应露点和在步骤f)中确定的第一露点的所确定的相应新值的差小于所述预定差。6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，第三温度和第二温度的差小于第二温度的10％。7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述预定差为0.05℃至0.5℃的范围。8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，至少步骤a)至e)以预定的时间周期自动地进行，具体是在每小时10至2次之间。9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，还包括存储第一露点、所确定的第一相对湿度和第一温度，特别是在湿度传感器设备的存储器中。10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，湿度传感器设备的加热是借助于湿度传感器设备的处理装置进行的自加热。11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，步骤a)至e)或a)至i)周期性地进行，例如具有若干小时或分钟的周期。12.一种计算机程序产品，包括一个或多个计算机可读介质，其具有计算机可执行的指令，用于执行权利要求1至11中的一项所述的方法的步骤。13.一种湿度传感器设备，包括用于存储权利要求12所述的计算机程序产品的存储器，以及配置为运行权利要求12所述的计算机程序产品。2CN111189890A说明书1/6页湿度传感器设备的校准技术领域[0001]本发明涉及湿度传感器设备，具体涉及湿度传感器设备的校准，湿度传感器设备被配置为测量相对湿度并确定环境中的露点。背景技术[0002]可以通过多种技术基于合适材料的电阻变化和电容变化来来测量湿度。例如，在借助于测量电容确定相对湿度(给定温度下水蒸气与水的比率)的基于半导体的系统中，可以基于用作电容器电介质的聚合物材料的可逆吸水特性来测量湿度。[0003]通常，常规的电容式相对湿度传感器设备包括半导体基底和一对电极，它们形成在半导体基底的表面上，并且以特定距离彼此面对。湿敏介电薄膜放置在电极之间，并形成在半导体基底的表面上。薄膜的电容响应于湿度而变化。