一种用于晶圆上料的载具装置.pdf
猫巷****正德
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一种用于晶圆上料的载具装置.pdf
本实用新型公开了一种用于晶圆上料的载具装置,能够兼容M种尺寸的晶圆载具;M为大于2的整数;包括载具安装板,以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M?1个发射端传感器、2M?1个接收端传感器和M个后基准块;所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方,所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M?2个侧边发射端传感器,所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央,所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本实用新型提供的一种用于晶圆上料的载具装置、上料装置及检测方法,主要用于解决多规格晶圆需求,
晶圆载具与收纳晶圆于晶圆载具的方法.pdf
本发明提供一种晶圆载具,其包含盒体、第一到第三滑轨组、止挡部件及固定部件。盒体包含连接的下板、第一侧板、第二侧板、上板及后板。第一滑轨组与第三滑轨组位于第一侧板的内表面上,分别包含沿第一方向排列且位于同一水平的多条第一滑轨及第三滑轨,且第一侧板包含位于第一滑轨与第三滑轨之间的开口。第二滑轨组位于该第二侧板的内表面上,且包含多条与第一滑轨对应的第二滑轨,以支撑晶圆载板或晶圆。止挡部件可在开口位置沿第一方向位移且具有棒状体与多个止挡肋。固定部件与开口对应设置且抵接于止挡肋中位于最边缘者。本发明有效地实现取放晶
一种晶圆载具.pdf
本发明涉及半导体批量处理制程工序领域,且公开了一种晶圆载具,包括载具本体和固定柱,其特征在于:所述载具本体的上表面内部开设有气流槽,所述载具本体上表面内部靠近所述气流槽的下方固定设置有晶圆承载台阶,所述载具本体的上表面靠近所述气流槽的两侧固定设置有定位凸台,所述载具本体的上表面远离所述定位凸台的外侧开设有定位通孔,所述载具本体的内部靠近所述定位凸台的下方开设有定位盲孔。通过设置定位凸台、定位盲孔、定位通孔和固定柱,使得本发明具有便于疏密齿距状态和便于装卸片的功能,从而提高了质量、精度和效率,节省了能源材料
一种晶圆蚀刻载具设备.pdf
本发明公开了一种晶圆蚀刻载具设备,其结构包括蚀刻箱、控制器、观察窗口、排液管、滑块,控制器通过螺栓连接于蚀刻箱前侧,观察窗口嵌设于蚀刻箱右上表面,排液管贯穿于蚀刻箱右壁,滑块通过活动卡合连接于蚀刻箱前侧,本发明的有益效果在于:将晶圆放置在置物槽中,晶圆下压夹紧板使受压的支撑杆向下挤压支撑弹簧,使得夹紧板两端翘起将晶圆夹持固定,避免在蚀刻过程中晶圆晃动,置物板在底板表面滑动的过程中晶圆与擦拭块接触,晶圆推动刷拭器使转辊转动至挡板右端与限位辊接触状态,在弹性片的弹力与支撑块的支撑下使得刷条能够来回摆动,便于对
用于晶圆回收的收料装置.pdf
本发明涉及一种用于晶圆回收的收料装置,包括底座组件和第一升降组件,还包括与第一升降组件结构相同的第二升降组件,第一升降组件和第二升降组件镜像分布设置在底座组件上沿着X轴方向的两侧位置。本发明采用双料盒结构,一个料盒满了,自动退出,第二个料盒进入收料,留出取放更换料盒充裕时间;通过升降台包括升降台运动板和升降台底板的结构设置,以及第三导轨组件、导向轴、压缩弹簧和传感器单元的配合,具有撞击保护报警的功能。