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本实用新型公开了一种用于晶圆上料的载具装置,能够兼容M种尺寸的晶圆载具;M为大于2的整数;包括载具安装板,以及位于载具安装板上的载具前挡板、2M?1个发射端传感器、2M?1个接收端传感器和M个后基准块;所述载具前挡板位于所述载具安装板的正前方,所述发射端传感器包括1个基准发射端传感器和2M?2个侧边发射端传感器,所述基准发射端传感器位于载具安装板的前端中央,所述侧边发射端传感器对称分布在所述基准发射端传感器的两侧。本实用新型提供的一种用于晶圆上料的载具装置、上料装置及检测方法,主要用于解决多规格晶圆需求,以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题。