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一种晶圆载具.pdf
2023-06-27
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是你****馨呀
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晶圆载具与收纳晶圆于晶圆载具的方法.pdf
本发明提供一种晶圆载具，其包含盒体、第一到第三滑轨组、止挡部件及固定部件。盒体包含连接的下板、第一侧板、第二侧板、上板及后板。第一滑轨组与第三滑轨组位于第一侧板的内表面上，分别包含沿第一方向排列且位于同一水平的多条第一滑轨及第三滑轨，且第一侧板包含位于第一滑轨与第三滑轨之间的开口。第二滑轨组位于该第二侧板的内表面上，且包含多条与第一滑轨对应的第二滑轨，以支撑晶圆载板或晶圆。止挡部件可在开口位置沿第一方向位移且具有棒状体与多个止挡肋。固定部件与开口对应设置且抵接于止挡肋中位于最边缘者。本发明有效地实现取放晶
2023-07-25
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2023-06-27
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一种晶圆蚀刻载具设备.pdf
本发明公开了一种晶圆蚀刻载具设备，其结构包括蚀刻箱、控制器、观察窗口、排液管、滑块，控制器通过螺栓连接于蚀刻箱前侧，观察窗口嵌设于蚀刻箱右上表面，排液管贯穿于蚀刻箱右壁，滑块通过活动卡合连接于蚀刻箱前侧，本发明的有益效果在于：将晶圆放置在置物槽中，晶圆下压夹紧板使受压的支撑杆向下挤压支撑弹簧，使得夹紧板两端翘起将晶圆夹持固定，避免在蚀刻过程中晶圆晃动，置物板在底板表面滑动的过程中晶圆与擦拭块接触，晶圆推动刷拭器使转辊转动至挡板右端与限位辊接触状态，在弹性片的弹力与支撑块的支撑下使得刷条能够来回摆动，便于对
2023-05-29
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一种片状晶圆加工用载具.pdf
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