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本发明属于氧化亚硅的制备技术领域,公开一种氧化亚硅的制备方法以及实现该方法的制备装置。制备方法:将硅粉与二氧化硅溶胶搅拌混合均匀,凝胶前持续搅拌,直至出现凝胶状态后,停止搅拌,待完全形成凝胶后,干燥得到混合物料;将混合物料在真空氛围下进行第一次加热处理,第一次加热处理的同时将生成的气体送去进行第一次冷凝,收集,得到成品1#氧化亚硅。制备装置包括第一加热装置、第一冷凝收集装置,第一加热装置、第一冷凝收集装置之间通过密封连接管及其附属阀门连通;第一加热装置顶部设有第一过滤挡板,第一冷凝收集装置内腔设有第一刮粉装置,第一加热装置外部连接有抽真空装置。本发明制备的氧化亚硅纯度较高,达到99.9%以上。