气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110066987A(43)申请公布日2019.07.30(21)申请号201810059105.2C23C16/56(2006.01)(22)申请日2018.01.22(71)申请人新特能源股份有限公司地址830011新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区（新市区）甘泉堡高新技术产业园(72)发明人银波王文范协诚夏高强薛明华朱文博(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人罗建民邓伯英(51)Int.Cl.C23C16/40(2006.01)C23C16/448(2006.01)C23C16/46(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图4页(54)发明名称气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法(57)摘要本发明公开了一种气相沉积装置及氧化亚硅的制备方法，气相沉积装置，包括炉体、设置于炉体内的加热腔室、设置于炉体外的沉积腔室，气相沉积装置还包括：进料机构、刮取机构、设置于炉体外的收集腔室，收集腔室包括第一阀门，第一阀门用于控制沉积腔室与收集腔室之间通道的开闭。本发明中的气相沉积装置，通过关闭收集腔室入口处的第一阀门，可在线将收集腔室收集到的沉积产物排出，使得气相沉积装置内的气相沉积反应可以连续在线进行，且出料时不影响气相沉积反应。本发明与现有技术相比，能实现连续生产，从而降低了能耗，提高了产能，提高了生产效率。且沉积比较充分，物料损失少，收集的产品具有较高的质量稳定性，能够满足市场大规模的需求。CN110066987ACN110066987A权利要求书1/2页1.一种气相沉积装置，包括炉体、设置于炉体内的加热腔室、设置于炉体外的沉积腔室，加热腔室用于加热原料反应生成气相产物，沉积腔室与加热腔室连通，沉积腔室用于沉积产物，其特征在于，气相沉积装置还包括：进料机构，进料机构的出料口与加热腔室的入口连接，进料机构用于向加热腔室内加入原料；刮取机构，设置于沉积腔室内，刮取机构用于刮取沉积腔室内的沉积产物；收集腔室，设置于炉体外，收集腔室的入口与沉积腔室的出口连接，收集腔室用于收集刮取机构刮取下来的沉积产物，收集腔室包括设置于收集腔室入口处的第一阀门，第一阀门用于控制沉积腔室与收集腔室之间通道的开闭。2.根据权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，沉积腔室包括设置于沉积腔室出口处的第二阀门，第二阀门用于控制沉积腔室与收集腔室之间通道的开闭，收集腔室与沉积腔室可拆卸连接，当收集腔室与沉积腔室连接，打开第一阀门、第二阀门，收集腔室收集刮取机构刮取下来的沉积产物；关闭第一阀门、第二阀门，将收集腔室从沉积腔室上拆卸下来。3.根据权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，还包括设置于炉体外的残渣腔室，残渣腔室的入口与加热腔室的出口连接，残渣腔室包括设置于残渣腔室的入口处的第三阀门，第三阀门用于控制加热腔室与残渣腔室之间通道的开闭，残渣腔室用于收集加热腔室内原料反应后的残渣。4.根据权利要求3所述的气相沉积装置，其特征在于，加热腔室包括设置于加热腔室的出口处的第四阀门，第四阀门用于控制加热腔室与残渣腔室之间通道的开闭，残渣腔室与加热腔室可拆卸连接，当残渣腔室与加热腔室连接，打开第三阀门、第四阀门，残渣腔室收集残渣；关闭第三阀门、第四阀门，将残渣腔室从加热腔室上拆卸下来；和/或，残渣腔室还包括：设置于残渣腔室出口的用于盖合的残渣腔室底盖。5.根据权利要求3所述的气相沉积装置，其特征在于，加热腔室包括设置于加热腔室的出口处的配重阀，配重阀用于承受到达预设的重量后自行打开，残渣腔室与加热腔室可拆卸连接，当残渣腔室与加热腔室连接，打开第三阀门，配重阀承受到达预设的重量后自行打开，残渣腔室收集残渣；关闭第三阀门，配重阀未承受到达预设的重量处于关闭状态，将残渣腔室从加热腔室上拆卸下来。6.根据权利要求3所述的气相沉积装置，其特征在于，在加热腔室内，加热腔室的入口与加热腔室的出口之间设置有开放式滑道，用于将原料输送到加热腔室内，还用于将原料反应后的残渣输送到加热腔室的出口。7.根据权利要求6所述的气相沉积装置，其特征在于，加热腔室的入口设置于加热腔室上方，加热腔室的出口设置于加热腔室下方，所述滑道从上到下呈现螺旋式排布。8.根据权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，原料进料机构包括料仓和螺旋输送器，料仓与螺旋输送器连接，料仓用于对其内的原料抽真空，料仓内的原料通过螺旋输送器进入到加热腔室内。9.根据权利要求1所述的气相沉积装置，其特征在于，沉积腔室内设置有可转动的转2CN110066987A权利要求书2/2页筒，转筒内设置有夹套用于通入冷源对转筒进行冷却。10.根据权利要求9所述的气相沉积装置，其特征在于，转筒中部为中通的通孔，通孔的一端开口位于