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一种环保型通孔填孔脉冲电镀铜溶液及其电镀方法.pdf

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本发明公开了一种环保型通孔填孔脉冲电镀铜溶液及其电镀方法,电镀铜溶液包括以下质量浓度的组分:硫酸铜30?50g/L、复合加速剂30?90mg/L、复合整平剂15?45mg/L、表面活性剂15?45mg/L、复合防折镀剂20?50mg/L、电解质0.1?0.5g/L、复合络合剂20?45g/L。该发明溶液酸浓度非常低,废水处理简单,保证了填孔通孔内不会出现折镀,铜层均匀性致密且填孔率在95%以上,10:1板深镀能力高达88%以上,随着电流密度上升,深镀能力下降率不超过5%,镀液循环使用可用至半年,且镀液长期稳定清澈可维持两个月内不发黑。