一种探针卡用螺丝紧固装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112518306A(43)申请公布日2021.03.19(21)申请号202011339529.8(22)申请日2020.11.23(71)申请人旺矽科技（苏州）有限公司地址215000江苏省苏州市苏州工业园区春辉路13号(72)发明人詹云富(74)专利代理机构上海微策知识产权代理事务所(普通合伙)31333代理人张静(51)Int.Cl.B23P19/06(2006.01)权利要求书1页说明书9页附图3页(54)发明名称一种探针卡用螺丝紧固装置(57)摘要本发明公开了一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体、工作台面、支撑杆，横杆和液压伸缩杆，所述安装室的内部放置有第一电动机，所述第一电动机的输出端通过纵向齿轮与横向齿轮转动连接，所述横向齿轮上贯穿安装有延伸至工作台面内的转动轴杆，所述支撑杆一侧的顶部通过第二电动机外壳固定安装有第二电动机，所述横杆的内部固定安装有丝杆，所述丝杆上通过滑动块滑动安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底部通过第三电动机外壳固定安装有第三电动机，所述第三电动机的输出端通过批杆安装座固定安装有批杆。通过对电动机外壳上设置的密封板进行改进，制备得到的密封板具有较好的散热性能，提高了工作效率，降低了设备工作中的危险性的出现。CN112518306ACN112518306A权利要求书1/1页1.一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体(1)、工作台面(2)、支撑杆(3)，横杆(4)和液压伸缩杆(5)，其特征在于：所述支撑柜体(1)的内部设有存储室(101)与安装室(102)，所述安装室(102)的内部放置有第一电动机(103)，所述第一电动机(103)的输出端通过纵向齿轮(104)与横向齿轮(105)转动连接，所述横向齿轮(105)上贯穿安装有延伸至工作台面(2)内的转动轴杆(106)，所述转动轴杆(106)的顶部固定安装有工作转盘(201)，且工作转盘(201)上设有限位台(202)，所述支撑柜体(1)的顶部固定安装有工作台面(2)，所述工作台面(2)的两侧皆固定安装有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)之间的顶部固定安装有横杆(4)，所述横杆(4)的内部固定安装有丝杆(401)，所述丝杆(401)上通过滑动块(402)滑动安装有液压伸缩杆(5)，所述液压伸缩杆(5)的底部通过第三电动机外壳(501)固定安装有第三电动机(502)。2.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的支撑杆(3)一侧的顶部通过第二电动机外壳(301)固定安装有第二电动机(302)。3.根据权利要求2所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述第三电动机(502)的输出端通过批杆安装座(503)固定安装有批杆(504)。4.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述支撑柜体(1)的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上设有配合使用的观察窗。5.根据权利要求3所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的工作台面(2)的正面固定安装有控制开关(203)。6.根据权利要求5所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的控制开关(203)通过导线分别与第一电动机(103)、第二电动机(302)和第三电动机(502)电性连接。7.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述工作台面(2)的内设有与转动轴杆(106)配合使用的安装槽，所述限位台(202)内设有配合使用的限位凹槽。8.根据权利要求2所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的第二电动机外壳(301)与第三电动机外壳(501)的正面皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。9.根据权利要求2所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的第二电动机外壳(301)与支撑杆(3)之间通过三角支撑脚固定安装。10.根据权利要求4所述的一种探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述第三电动机(502)与第二电动机(302)与第一电动机(103)的输出端皆通过联轴器分别与批杆(504)、丝杆(401)以及纵向齿轮(104)转动连接。2CN112518306A说明书1/9页一种探针卡用螺丝紧固装置技术领域[0001]本发明属于探针卡生产技术领域，更具体的涉及一种探针卡用螺丝紧固装置。背景技术[0002]探针卡是一种对半导体元件进行在晶片级别上有无缺陷的测试元件，测试方法包括：将晶片和半导体元件检测设备进行电连接，并将检测设备的电信号传递至晶片上所形成的垫上，并将从垫返回的信号传递至半导体元件的检测设备。[0003]探针卡是由多个螺丝进行紧固，随着市场需求量的增加，探针卡也随之加大生产，传统的加工过程是由工作人员手持批杆进行紧固，这会大大降低探针卡生产的工作效率，现需要一种探