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本发明提供一种抑制了在掩模图案产生的变形的蒸镀掩模,蒸镀掩模包括具有多个开口部的掩模部、保持所述掩模部的保持框和连接所述掩模部与所述保持框的连接部,所述连接部包含以具有第1膜厚的方式与所述掩模部接触的第1部分和以具有比所述第1膜厚薄的第2膜厚的方式与所述掩模部接触的第2部分。所述第2部分也可以位于比所述第1部分靠所述掩模部的内侧的位置。