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本发明适用于石英砂制备技术领域,提供了一种高纯球形石英砂制备装置及其制备方法,高纯球形石英砂制备装置包括搅拌装置、喷雾干燥机以及高温回转窑,搅拌装置、喷雾干燥机以及高温回转窑与原料接触的部分均使用石英材质或者聚四氟乙烯材质,而运用该制备设备制备高纯球形石英砂的方法包括以下步骤:S1,在搅拌罐内加入水和催化剂,然后将有机硅烷缓慢加入到搅拌罐内,经搅拌充分反应后得到水解液;S2,将水解液陈化后通过喷雾干燥机进行球形造粒;S3,最终将S2得到的球形化石英粉体投入高温回转窑进一步脱去有机物和水分以及羟基,最终制得粒径在10微米-500微米之间的干燥球形石英粉体,通过以上方法及设备制得的球形石英制品纯度高,球形颗粒流动性好,颗粒透明。