制备高纯石英砂的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101948235A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101948235A(43)申请公布日2011.01.19(21)申请号201010284139.5(51)Int.Cl.(22)申请日2010.09.14C03B20/00(2006.01)(71)申请人山东海友工贸有限公司地址271400山东省泰安市宁阳县伏山镇茂胜村(72)发明人郑运岭范中峰(74)专利代理机构泰安市泰昌专利事务所37207代理人姚德昌权利要求书1页说明书7页附图1页(54)发明名称制备高纯石英砂的方法(57)摘要一种制备高纯石英砂的方法，把石英矿石分成尺寸为30mm×30mm大小的块状，进行分级；石英矿石的粗洗和煅烧，经过炉温为840-880℃和890-910℃两次煅烧，再对石英矿石的水淬和粉碎，粉碎至粒度为0.4-0.1mm石英砂；把经过粉碎的石英矿砂，放到反应罐中，依次，往反应罐加入占反应罐容积的65-75％的纯净级别为14.5-15.5兆的超纯水，再往反应罐中加入与超纯水的体积百分比为30％-40％石英砂，后往反应罐注入浓度为35-37％浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物，浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物的体积与超纯水的体积百分比为5-8％，保持反应罐的温度为60℃-80℃，在反应罐中搅拌20分钟-30分钟、沉淀10-15分钟后把反应罐中的第一次液体排出，再加超纯水适量，搅拌清洗，把反应罐的砂浆输送至清洗罐，在清洗罐中，使用超纯水进行清洗；石英矿石的液固分离；在温度为175-185℃环境中，进行干燥；石英矿石的磁选、筛分和包装；因此保护了资源，充分利用了资源，实现了经济利益的最大化。CN10948235ACCNN110194823501948237A权利要求书1/1页1.一种制备高纯石英砂的方法；其特征是：(1)、石英矿石的人工分选通过人工，把石英矿石使用机械方法，分成尺寸为30mm×30mm大小的块状，再进行分选，将透明的石英矿石块分为一级、半透明的石英矿石块分为二级、白色不透明的石英矿石块分为三级，分类放置在周转容器中；(2)、石英矿石的粗洗把经过人工分选的石英矿石放到清洗池中，清水浸泡，进行清洗，用肉眼观察石英矿石块的表面，无明显杂质；(3)、石英矿石的煅烧把经过粗洗的石英矿石放到煅烧炉中，先经过炉温为840-880℃的加热II区、再经过炉温为890-910℃的加热I区、进行加热时间为50-60分钟的煅烧，出料时，肉眼观察石英矿石块的颜色发红；(4)、石英矿石的水淬把经过煅烧的石英矿石放到冷却水池中，进行水淬；(5)、石英矿石的粉碎把经过水淬的石英矿石，粉碎至粒度为0.4-0.1mm石英砂；(6)、石英矿石的精洗把经过粉碎的石英矿砂，放到反应罐中，依次，往反应罐加入占反应罐容积的65-75％的纯净级别为14.5-15.5兆的超纯水，再往反应罐中加入与超纯水的体积百分比为30％-40％石英砂，后往反应罐注入浓度为35-37％浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物，浓盐酸或盐酸与氢氟酸的混合物的体积与超纯水的体积百分比为5-8％，保持反应罐的温度为60℃-80℃，在反应罐中搅拌20分钟-30分钟、沉淀10-15分钟后把反应罐中的第一次液体排出，再加超纯水适量，搅拌清洗，把反应罐的砂浆输送至清洗罐，在清洗罐中，使用超纯水进行清洗；(7)、石英矿石的液固分离将经过精洗的石英砂，由离心机进行液固分离；(8)、石英矿石的干燥将经过液固分离的石英砂，在温度为175-185℃环境中，保温2.5-3.5小时进行干燥；(9)、石英矿石的磁选将经过干燥的石英砂通过磁选机进行磁选；(10)、石英矿石的筛分和包装通过人工，把石英砂，按20目以上、20目-50目、50目-100目、100目-160目、160目-200目等若干粒度规格进行分隔，对石英砂的杂质进行剔除，再分类包装。2.根据权利要求1所述的制备高纯石英砂的方法；其特征是：把经过水淬的石英矿石，第一步经过颚式破碎机粉碎至粒度为8-10mm，第二步把粒度为8-10mm的石英矿石粉经过对辊磨机粉碎至粒度为0.4-0.1mm石英砂。3.根据权利要求1或2所述的制备高纯石英砂的方法；其特征是：盐酸与氢氟酸的混合物中设置为浓度为35-37％盐酸与氢氟酸体积比例2.9-3.1∶1。2CCNN110194823501948237A说明书1/7页制备高纯石英砂的方法一、技术领域[0001]本发明涉及一种制备高纯石英砂的方法，尤其是一种适用于石英坩埚的高纯石英砂的制备方法。二、背景技术[0002]石英玻璃因为它具有一系列特殊的物理、化学性能，如耐高温性能、热膨胀率极小性能、极佳的光谱特性能、耐酸性能和极好的电绝缘性能，石英玻璃被广泛地应用在制造集成电路中，石英玻璃的主要产品为大规模集成电路用高