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一种高纯石英砂的制备方法,包括如下步骤:(1)预处理:将脉石英原矿分级后采用擦洗机进行擦洗脱泥,得到预处理物料;(2)物理处理:将预处理物料依次进行焙烧、水淬、烘干、破碎、磁选、浮选,得到物理处理物料;(3)化学处理:将物理处理物料进行酸处理进行提纯,得到高纯石英砂;其中,酸处理采用微波结合酸浸的方式。本发明所述的高纯石英砂的制备方法,步骤设计合理,采用脉石英原矿作为原料,先通过预处理使石英颗粒和脉石矿物发生解离、具有较好的粒度、去除表面的杂质,然后通过物理处理继续将杂质矿物与石英砂分离,最后采用微波结合酸浸的方式,得到的高纯石英砂总杂质含量最低为30.6μg/g,H2O的含量也大幅降低,应用前景广泛。