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负型抗蚀剂组合物.pdf
2023-05-23
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负型抗蚀剂组合物.pdf
本发明的课题在于提供一种用于制造波长440nm的光的透射率高的滤色器的负型抗蚀剂组合物。本发明的负型抗蚀剂组合物包含着色剂和树脂,上述着色剂含有呫吨染料,由上述负型抗蚀剂组合物形成的固化膜的分光光谱满足下述条件1。[条件1]在波长范围500nm～580nm具有极大吸收波长,将该波长处的透射率设为5%时,波长440nm处的透射率为80%以上,且波长620nm处的透射率为80%以上。
2023-05-23
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化学增幅负型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法.pdf
本发明为化学增幅负型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法。提供了包含具有含桥接的环的基团的芳烃磺酸的鎓盐和基础聚合物的负型抗蚀剂组合物，该鎓盐能够产生具有适当的强度和扩散受控的大体积酸。当该抗蚀剂组合物通过光刻法处理时，形成具有高分辨率和降低的LER的矩形轮廓的点图案。
2023-08-28
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用于负型抗蚀剂的可显影底部抗反射涂料组合物.pdf
一种负型可显影底部抗反射涂料(NDBARC)材料包括聚合物，该聚合物含有脂肪族醇部分、芳香族部分以及羧酸部分。NDBARC组合物在涂布及烘烤之后不溶于一般的光刻胶溶剂，如丙二醇甲基醚乙酸酯(PGMEA)。NDBARC材料也包括光酸产生剂以及选择性的交联化合物。在NDBARC材料中，羧酸提供显影剂溶解性，而醇单独、羧酸单独或其组合提供PGMEA抗性。NDBARC材料对光刻胶溶剂具有抗性，因此，在涂布光刻胶于NDBARC上方的过程中，NDBARC与光刻胶之间不会发生互混。在曝光及烘烤之后，由于负型光刻胶中的聚
2023-06-14
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正型抗蚀剂组合物.pdf
本发明的正型抗蚀剂组合物的特征在于，其含有含氟脂肪族醇、聚合物、乙烯基化合物和光产酸剂，含氟脂肪族醇为一元醇、所含有的碳原子数为2～8且氢原子的个数少于等于氟原子数的个数。关于该正型抗蚀剂组合物，溶解或溶胀等的对于有机材料的影响小，可以通过有机聚合物基板的湿式涂布形成抗蚀膜，且基板上形成的抗蚀膜、抗蚀图案显示优异的耐溶剂性。
2023-06-14
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鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法.pdf
具有含桥接环的基团的芳烃磺酸的鎓盐产生了具有适当强度和受控的扩散的大体积酸。当包含该鎓盐和基础聚合物的正型抗蚀剂组合物通过光刻法加工时，形成了具有高分辨率和降低的LER的矩形轮廓的图案。
2023-08-28
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