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靶材结构.pdf

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本发明公开一种靶材结构,包括载板、磁性元件及靶材。载板具有承载面。磁性元件配置在承载面。靶材配置在磁性元件且覆盖整个磁性元件。磁性元件的位置对应一强蚀位置。本发明的磁性元件能减弱磁场强度,因此能有效减少靶材在强蚀位置位置的消耗率(减少侵蚀深度),进而让靶材在各位置的消耗率更为平均,以提升靶材的使用寿命。