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本发明公开了一种电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用,该制备电子级六氯乙硅烷的方法包括:(1)对电子级多晶硅生产系统的尾气进行分离,以便得到氢气和四氯化硅,对电子级多晶硅生产系统中氢化后的混合气体进行精馏,以便得到三氯氢硅;(2)将四氯化硅、氢气、三氯氢硅和硅混合,反应,以便得到六氯乙硅烷混合气;(3)对六氯乙硅烷混合气进行分离,以便得到电子级六氯乙硅烷。由此,显著提高了六氯乙硅烷的纯度,显著提高了电子级多晶硅生产系统中尾气的利用率,极大降低了生产操作成本。