一种晶圆刷洗装置.pdf

本实用新型公开一种晶圆刷洗装置,包括支撑臂、刷盘组件和与支撑臂连接的液压旋转器,刷盘组件包括含有出口的流出通道,液压旋转器包括流体腔室、上连接部和旋转组件,流体腔室与上连接部固定连接或一体成型,旋转组件设置在流体腔室内,流体腔室的内部设有容纳腔;支撑臂的内部设置有第一流体通道,上连接部的内部设置有连接通道,上连接部开设有多个通液孔,流体可依次流经第一流体通道及连接通道后进入容纳腔,再从流出通道并经出口喷出,旋转组件用于在流体从连接通道进入容纳腔时旋转并带动刷盘组件旋转。本实用新型无需额外设置固定喷嘴、带动刷盘部分旋转的旋转电机,整体结构简单。