一种多晶圆刷洗装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115995405A(43)申请公布日2023.04.21(21)申请号202111215889.1(22)申请日2021.10.19(71)申请人杭州众硅电子科技有限公司地址311300浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层(72)发明人殷骐徐枭宇(74)专利代理机构杭州凯知专利代理事务所(普通合伙)33267专利代理师邵志(51)Int.Cl.H01L21/67(2006.01)B08B1/00(2006.01)B08B1/02(2006.01)B08B3/02(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图5页(54)发明名称一种多晶圆刷洗装置(57)摘要本发明公开了一种多晶圆刷洗装置，包括箱体，箱体内设有多个分隔腔室，多个分隔腔室的底部相连通，每个分隔腔室内设有支撑轮系统和刷洗系统，该刷洗系统包括一组滚刷单元，滚刷单元可相互靠近以刷洗晶圆，或者，相互远离以取出晶圆，多个刷洗系统之间通过开合驱动机构相连，该开合驱动机构用于同时驱动多组滚刷单元的相互靠近或远离。本发明将多组滚刷单元集成在同一个箱体内，可以大大缩短工位间的距离，有效提高单位体积生产效率；箱体可以为双隔间，三隔间或四隔间等，分隔腔室的数量定制化程度高，适用范围广；共用一个开合驱动机构，实现不同滚刷单元的同步开合，节省设备空间，降低采购成本。CN115995405ACN115995405A权利要求书1/1页1.一种多晶圆刷洗装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）内设有多个分隔腔室（2），多个分隔腔室（2）的底部相连通，每个分隔腔室（2）内设有支撑轮系统（3）和刷洗系统（4），该刷洗系统（4）包括一组滚刷单元（5），所述滚刷单元（5）可相互靠近以刷洗晶圆（6），或者，相互远离以取出晶圆（6），多个刷洗系统（4）之间通过开合驱动机构（7）相连，该开合驱动机构（7）用于同时驱动多组滚刷单元（5）的相互靠近或远离。2.根据权利要求1所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述滚刷单元（5）包括平行设置的两个横杆（53），连接在横杆（53）两端的第一连接板（51），及连接在另一横杆（53）两端的第二连接板（52），所述第一连接板（51）和第二连接板（52）用于安装滚刷（54）；在所述开合驱动机构（7）的驱动下，不同组滚刷单元（5）的两个第一连接板（51）和两个第二连接板（52）均同步呈V字形张开或闭合。3.根据权利要求2所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述开合驱动机构（7）包括动力源（74），与动力源（74）相连的第一驱动单元（71），第二驱动单元（72），及第三驱动单元（73）；所述第一驱动单元（71）分别连接相邻滚刷单元（5）的第二连接板和第一连接板；所述第二驱动单元（72）用于驱动同一组滚刷单元（5）的第一连接板和第二连接板张开或闭合；所述第三驱动单元（73）设于未连接有动力源的相邻滚刷单元（5）之间，用于驱动该相邻滚刷单元（5）的第二连接板和第一连接板之间的张开或闭合。4.根据权利要求3所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述第一驱动单元（71）至少包括在动力源（74）驱动下可周向转动的转盘（711），及连杆（712），所述连杆（712）的数量为两个，其一端与转盘（711）直接或间接相连，两个连杆（712）的另一端分别直接或间接连接相邻滚刷单元（5）的第一连接板和第二连接板。5.根据权利要求4所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述连杆（712）和转盘（711）之间均通过第三转接柱（713）相连，所述第一连接板和连杆（712）之间通过第一转接柱（714）相连，所述第二连接板和连杆（712）之间通过第二转接柱（715）相连。6.根据权利要求5所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述两个第三转接柱（713）沿转盘（711）的径向布设，在初始状态下，两者竖直地位于两个连接板之间，所述连杆（712）则与第三转接柱（713）倾斜相连。7.根据权利要求3所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述第二驱动单元（72）为设于第一连接板（51）底部的第一齿轮（721），和设于第二连接板（52）底部的第二齿轮（722），所述第一齿轮（721）和第二齿轮（722）啮合传动。8.根据权利要求3所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：当所述第三驱动单元（73）的数量为至少两个时，其上下交替布设。9.根据权利要求2所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：相邻滚刷单元（5）的第二连接板和第一连接板均形成缺口部（55），以形成避让空间。10.根据权利要求1所述的多晶圆刷洗装置，其特征在于：所述多个分隔腔室（2）的顶部相连通，且共用一套排气系统（21）和一套排液系统；每个分隔腔室（2）内均设有喷淋系统（22）。2CN115995405A说明书