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一种硼硅玻璃的键合方法.pdf
2023-05-10
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雨星****萌娃
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本发明提供了一种硼硅玻璃的键合方法,该键合方法包括如下步骤:(1)将磨抛后表面光滑的硼硅玻璃基片分别使用纯水、乙醇清洗去除污物(2)在piranha溶液中超声清洗后再次使用纯水和乙醇清洗,并用氮气枪将其吹干(3)在键合面滴加氨水活化液,将其贴合后在湿度70%?90%环境放置2h,之后将其分开,再次滴加氨水活化液后重新贴合待用。(4)将贴合静置后的基片放入真空烘干箱,先在100℃保温1h,然后在200℃继续保温4h。(5)随炉自然冷却到室温,键合完成。该键合方法无需在高洁净环境中进行,对设备和环境要求较低,
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