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提供了一种含硅烯量子点的硅氧烯薄膜及其制备方法,属于荧光功能纳米材料领域。将CaSi2与脱钙有机溶剂、过渡金属氯化物催化剂按比例混合均匀,酸洗后超声分散制备获得了镶嵌硅烯量子点的硅氧烯薄膜,这种硅氧烯薄膜厚度在1~2.5nm以下,硅烯量子点尺寸在2~5nm,并且在蓝光区域有很强的荧光发射性能,具有准直接带隙,显示了其在光电等领域良好的应用前景。