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窄带化装置和电子器件的制造方法.pdf
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一吃****海逸
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窄带化装置具有:第1棱镜和第2棱镜,它们被配置于第1棱镜和第2棱镜中的任意棱镜的波长色散方向上不同的位置;第3棱镜,其被配置于光束的光路上,扩大光束的射束宽度,使光束的第1部分入射到第1棱镜,使光束的第2部分入射到第2棱镜;光栅,其被配置为跨越通过第1棱镜后的第1部分的光路和通过第2棱镜后的第2部分的光路;第1致动器,其对第1部分入射到光栅的入射角进行调整;第2致动器,其对第2部分入射到光栅的入射角进行调整;以及第3致动器,其对第1部分与第2部分的能量比率进行调整。
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窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1
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