窄带化气体激光装置和电子器件的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116018731A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202080103984.X(51)Int.Cl.(22)申请日2020.09.09H01S3/137(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.02.10(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0341752020.09.09(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/054180JA2022.03.17(71)申请人极光先进雷射株式会社地址日本栃木县(72)发明人斋藤雄介八代将德古里博志渡边阳介寺尾季伦(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127专利代理师于英慧权利要求书3页说明书13页附图19页(54)发明名称窄带化气体激光装置和电子器件的制造方法(57)摘要窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由窄带化装置和输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承输出耦合镜；第2保持架，其将第1保持架支承为能够绕第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于第2保持架，通过与第1保持架接触来使第1保持架绕旋转轴进行旋转。窄带化装置具有以下特性：当窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化。第2保持架和调整装置构成为，通过第2保持架和调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使第1保持架沿对从输出耦合镜输出的激光的射束指向向第1方向变化进行抑制的方向旋转。CN116018731ACN116018731A权利要求书1/3页1.一种窄带化气体激光装置，其中，所述窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由所述窄带化装置和所述输出耦合镜构成的光谐振器的光路上；第1保持架，其支承所述输出耦合镜；第2保持架，其将所述第1保持架支承为能够绕所述第1保持架的旋转轴进行旋转；以及调整装置，其支承于所述第2保持架，通过与所述第1保持架接触来使所述第1保持架绕所述旋转轴进行旋转，所述窄带化装置具有以下特性：当所述窄带化装置的内部的温度上升时，使朝向所述输出耦合镜射出的光的射束指向向第1方向变化，所述第2保持架和所述调整装置构成为，通过所述第2保持架和所述调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使所述第1保持架沿对从所述输出耦合镜输出的激光的射束指向向所述第1方向变化进行抑制的方向旋转。2.根据权利要求1所述的窄带化气体激光装置，其中，所述调整装置包含支承于所述第2保持架的驱动部、以及相对于所述驱动部进行伸缩而与所述第1保持架接触的伸缩部。3.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述第1保持架包含斜面，所述伸缩部与所述斜面接触，并且在与所述斜面交叉的方向上伸缩。4.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述第1保持架包含楔部，该楔部在比所述输出耦合镜靠上的位置处具有斜面，所述斜面的从所述楔部离开的方向上的法线包含所述激光的输出方向的方向分量、以及与重力方向相反的方向分量，所述伸缩部与所述斜面接触，并且在与所述斜面交叉的方向上伸缩。5.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述第1保持架包含楔部，该楔部在比所述输出耦合镜靠下的位置处具有斜面，所述斜面的从所述楔部离开的方向上的法线包含与所述激光的输出方向相反的方向分量、以及重力方向的方向分量，所述伸缩部与所述斜面接触，并且在与所述斜面交叉的方向上伸缩。6.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述伸缩部的伸缩方向具有与所述激光的输出方向平行的方向分量。7.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述调整装置位于比所述第1保持架靠所述激光的输出侧的位置，所述伸缩部与所述第1保持架中的比所述旋转轴靠上的部分的表面接触。8.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，所述调整装置位于比所述第1保持架靠与所述激光的输出侧相反的一侧的位置，所述伸缩部与所述第1保持架中的比所述旋转轴靠下的部分的表面接触。9.根据权利要求2所述的窄带化气体激光装置，其中，2CN116018731A权利要求书2/3页所述第2保持架的热膨胀率比所述伸缩部的热膨胀率大。10.根据权利要求1所述的窄带化气体激光装置，其中，通过所述第2保持架和所述调整装置在它们的温度上升时发生热膨胀，使得所述第1保持架以所述第1保持架的比所述旋转轴靠上的部分向所述激光的输出方向运动的方式进行旋转，从而抑制从所述输出耦合镜输出的激光的射束指向向所述第1方向变化。11.一种窄带化气体激光装置，其中，所述窄带化气体激光装置具备：窄带化装置，其包含波长色散元件；输出耦合镜；激光腔室，其配置在由所述窄带化装置和所述输