激光装置和电子器件的制造方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116034522A(43)申请公布日2023.04.28(21)申请号202080103699.8(51)Int.Cl.(22)申请日2020.10.21H01S3/139(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.03.01(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0395402020.10.21(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/085111JA2022.04.28(71)申请人极光先进雷射株式会社地址日本栃木县(72)发明人山中琢磨(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127专利代理师于英慧蔡丽娜权利要求书4页说明书18页附图25页(54)发明名称激光装置和电子器件的制造方法(57)摘要本公开的一个观点的激光装置具有：振荡器，其输出脉冲激光；旋转台，其支承被配置于脉冲激光的光路上的光学元件；光栅，脉冲激光经由光学元件入射到光栅；第1驱动机构，其驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度；第2驱动机构，其以比第1驱动机构小的驱动量驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度；波长监视器，其计测脉冲激光的中心波长；以及处理器，其周期性地变更脉冲激光的目标波长，根据目标波长和波长监视器的计测值向第2驱动机构输出驱动指令，将中心波长控制成目标波长，处理器在成为波长指令周期的整数倍的区间内计算第2驱动机构的驱动指令值的移动平均，在移动平均值超过阈值的情况下，使第2驱动机构返回到初始位置，并且通过第1驱动机构的驱动来抵消由于该返回动作而引起的入射角度的变化。CN116034522ACN116034522A权利要求书1/4页1.一种激光装置，其具有：振荡器，其输出脉冲激光；光学元件，其被配置于所述脉冲激光的光路上；旋转台，其支承所述光学元件；光栅，其被配置成，供所述脉冲激光经由所述光学元件入射，使与所述脉冲激光的入射角度对应的波长的衍射光返回到所述振荡器；第1驱动机构，其驱动所述旋转台而使所述光学元件旋转，由此变更所述脉冲激光入射到所述光栅的入射角度；第2驱动机构，其以比所述第1驱动机构小的驱动量驱动所述旋转台而使所述光学元件旋转，由此变更所述脉冲激光入射到所述光栅的入射角度；波长监视器，其计测所述脉冲激光的中心波长；以及处理器，其周期性地变更所述脉冲激光的目标波长，根据所述目标波长和所述波长监视器的计测值向所述第2驱动机构输出驱动指令来变更所述入射角度，由此将所述中心波长控制成所述目标波长，所述处理器在成为波长指令周期的整数倍的区间内计算所述第2驱动机构的驱动指令值的移动平均，在所述计算出的移动平均值超过阈值的情况下，使所述第2驱动机构返回到初始位置，并通过所述第1驱动机构的驱动来抵消由于使所述第2驱动机构返回到所述初始位置而引起的所述入射角度的变化，所述波长指令周期是周期性地变更所述目标波长的周期。2.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述第1驱动机构包含步进马达，所述第2驱动机构包含压电元件。3.根据权利要求1所述的激光装置，其中，计算所述移动平均的所述区间是所述波长指令周期的1个周期。4.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述波长指令周期是在通过扫描曝光照射所述脉冲激光时被照射到同一部位的脉冲数。5.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述处理器呈矩形波状地变更使将所述目标波长设为第1波长的多个脉冲连续的波长指令和使将所述目标波长设为第2波长的多个脉冲连续的波长指令。6.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述处理器呈三角波状或正弦波状地按照每个脉冲变更所述目标波长。7.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述阈值包含规定下限的第1阈值和规定上限的第2阈值，在所述移动平均值低于所述第1阈值的情况下、或所述移动平均值高于所述第2阈值的情况下，所述处理器判定为所述移动平均值超过所述阈值。8.根据权利要求1所述的激光装置，其中，所述初始位置是所述第2驱动机构的全行程的1/2的位置。9.根据权利要求1所述的激光装置，其中，2CN116034522A权利要求书2/4页所述处理器根据波长刚刚变更之后与下一次即将变更波长前的各个时刻的所述第2驱动机构的驱动指令值之差计算所述第2驱动机构的驱动指令的校正值，在以与求出所述校正值的波长变更的驱动模式相同的驱动模式进行波长变更时，使用所述校正值对所述第2驱动机构的驱动指令进行校正。10.根据权利要求1所述的激光装置，其中，在设p为1以上的整数的情况下，所述处理器存储与第1突发脉冲中的第p个脉冲的目标波长对应的所述计测值，所述处理器根据所述存储的所述第p个脉冲的目标波长与所述计测值之间的关系，对针对后续的第2突发脉冲中的第p个脉冲的、所述第2驱动机构的驱动指令进行校正。11.一种电子器件的