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本发明涉及表面工程及数控刀具切削技术领域,提供了一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用。本发明采用电弧离子镀技术沉积的多层结构硬质涂层,具有至少三层结构,包括与基体紧密结合的底层涂层AlaCr1?aN,中间层涂层m{AlbTicMe1?b?cN+n(AlaCr1?aN/AlbTicMe1?b?cN)+AlaCr1?aN+l(AlaCr1?aN/AlbTicMe1?b?cN)}以及顶层涂层AlbTicMe1?b?cN,引入了合金元素Me(W、Mo、V),可以降低涂层摩擦系数,提高涂层的韧性,在结构的优化和合金元素Me的作用下,保持了较高硬度的同时,兼具良好的韧性。