一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用.pdf
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一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用.pdf
本发明涉及表面工程及数控刀具切削技术领域,提供了一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用。本发明采用电弧离子镀技术沉积的多层结构硬质涂层,具有至少三层结构,包括与基体紧密结合的底层涂层Al<base:Sub>a</base:Sub>Cr<base:Sub>1?a</base:Sub>N,中间层涂层m{Al<base:Sub>b</base:Sub>Ti<base:Sub>c</base:Sub>Me<base:Sub>1?b?c</base:Sub>N+n(Al<base:Sub>a</base:Sub>C
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一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法.pdf
本发明公开了一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法,通过至少两个蒸发坩埚,两个坩埚中分别放置不同的蒸发靶材,通过程序控制电子枪发射电子束在两个坩埚间跳跃实现不同涂层材料的周期性蒸发,形成金属蒸气;金属蒸气与空心阴极电子枪发射出的低压大电流电子束中的电子相互碰撞发生电离,产生高密度等离子体,与导入的反应气体发生反应并在基板负偏压的作用下形成涂层。所述的纳米多层硬质涂层为MeX/Me’X交替结构。本发明具有沉积速度快、涂层致密无液滴、可灵活控制调制周期和层厚比等优点。由于纳米多层硬质涂层本身的致硬效应,所制得的
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