一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法.pdf

本发明公开了一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法，通过至少两个蒸发坩埚，两个坩埚中分别放置不同的蒸发靶材，通过程序控制电子枪发射电子束在两个坩埚间跳跃实现不同涂层材料的周期性蒸发，形成金属蒸气；金属蒸气与空心阴极电子枪发射出的低压大电流电子束中的电子相互碰撞发生电离，产生高密度等离子体，与导入的反应气体发生反应并在基板负偏压的作用下形成涂层。所述的纳米多层硬质涂层为MeX/Me’X交替结构。本发明具有沉积速度快、涂层致密无液滴、可灵活控制调制周期和层厚比等优点。由于纳米多层硬质涂层本身的致硬效应，所制得的

2023-10-12

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一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用.pdf

本发明涉及表面工程及数控刀具切削技术领域,提供了一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用。本发明采用电弧离子镀技术沉积的多层结构硬质涂层,具有至少三层结构,包括与基体紧密结合的底层涂层Al<base:Sub>a</base:Sub>Cr<base:Sub>1?a</base:Sub>N,中间层涂层m{Al<base:Sub>b</base:Sub>Ti<base:Sub>c</base:Sub>Me<base:Sub>1?b?c</base:Sub>N+n(Al<base:Sub>a</base:Sub>C

2023-05-05

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一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备方法.pdf

本发明属于输送各种流体介质的化学工业用耐腐蚀泵领域，特别涉及一种氮化钛纳米多层涂层叶轮及其制备工艺，叶轮基体材料为25钢，叶轮基体表面为氮化钛高硬度涂层，叶轮基体与表面氮化钛高硬度涂层之间含有一层钛过渡层。具体工艺包括前处理、离子清洗、沉积钛过渡层、沉积表面氮化钛高硬度层。氮化钛纳米多层涂层叶轮可以保持较高硬度的同时提高涂层的韧性和与基体间的结合强度，从而提高涂层的耐冲击性和耐磨性，延长叶轮的使用寿命；该制备工艺容易掌握，生产过程稳定可靠。用该方法制备的叶轮，与未涂层的叶轮相比，耐磨性和耐腐蚀性能有大幅度

2023-10-19

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一种Ti/TiCrN纳米多层涂层叶轮及其制备方法.pdf

本发明属于输送各种流体介质的化学工业用耐腐蚀泵领域，特别涉及一种Ti/TiCrN纳米多层涂层叶轮及其制备工艺，叶轮基体材料为25钢，叶轮基体表面为纳米TiCrN、CrTiN、TiN和CrN的多层混合相结构高硬度涂层，叶轮基体与表面高硬度涂层之间含有一层钛过渡层。具体工艺包括前处理、离子清洗、沉积钛过渡层、沉积表面纳米TiCrN、CrTiN、TiN和CrN的多层混合相结构高硬度涂层。Ti/TiCrN纳米多层涂层叶轮可以保持较高硬度的同时提高涂层的韧性和与基体间的结合强度，从而提高涂层的耐冲击性和耐磨性，延长

2023-10-19

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一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法.pdf

本发明公开了一种具有微纳米结构的硬质疏水涂层及其制备方法，涉及疏水涂层领域。本发明的制备方法，采用带有离子束辅助装置的多弧离子镀设备依次沉积Cr层和CrTiAlN层，之后使用中能碳离子束进行照射，刻蚀的同时碳离子也会注入到CrTiAlN层内部，形成的CrTiAlCN金属碳化物，金属碳化物具有比其氮化物更高的硬度，进一步提高整个涂层的硬度和耐磨性；中能碳离子束处理之后得到的CrTiAlCN，在保留CrTiAlN膜层硬质耐磨性的基础上，进一步提高了其疏水性；碳还具有良好的减摩自润滑性能，降低涂层表面磨损和高分

2023-11-12

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