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本申请属于磁控溅射镀膜设备技术领域,公开一种用于水平溅射镀膜的夹具。该用于水平溅射镀膜的夹具包括:弓形柱、下定位销、上定位销;弓形柱由立柱、平行设置的上横梁及下横梁组成,上横梁及下横梁的一端分别水平装配于立柱的上端及下端;上定位销设置于上横梁顶部居中位置,下定位销设置于下横梁底部居中位置;立柱上设置夹持单元;夹持单元由刚性夹持臂与弹性夹持臂组成,夹持单元中刚性夹持臂设置于弹性夹持臂下方,刚性夹持臂用于支撑并夹持待镀膜工件底部,弹性夹持臂用于夹持待镀膜工件顶部。本申请中用于水平溅射镀膜的夹具对不同尺寸和形状的基片镀膜工艺具有较佳的兼容性,适合集群架构或标准半导体类型的自动化、适用于大批量生产。