

一种用于水平溅射镀膜的夹具.pdf
英哲****公主
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一种用于水平溅射镀膜的夹具.pdf
本申请属于磁控溅射镀膜设备技术领域,公开一种用于水平溅射镀膜的夹具。该用于水平溅射镀膜的夹具包括:弓形柱、下定位销、上定位销;弓形柱由立柱、平行设置的上横梁及下横梁组成,上横梁及下横梁的一端分别水平装配于立柱的上端及下端;上定位销设置于上横梁顶部居中位置,下定位销设置于下横梁底部居中位置;立柱上设置夹持单元;夹持单元由刚性夹持臂与弹性夹持臂组成,夹持单元中刚性夹持臂设置于弹性夹持臂下方,刚性夹持臂用于支撑并夹持待镀膜工件底部,弹性夹持臂用于夹持待镀膜工件顶部。本申请中用于水平溅射镀膜的夹具对不同尺寸和形状
一种用于溅射镀膜的连续供气装置.pdf
本发明公开了一种用于溅射镀膜的连续供气装置,包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路,主供气气路和备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接,减压气路用于将主供气气路和备用供气气路进行降压,监测气路用于检测供入覆膜机的流量;本发明结构简单,实现了气体的连续供应,保证溅射镀膜时所需气体供应;增加三通阀和截止阀,排出更换气体时进入的空气,纯化了管路,保障了镀膜工艺,杜绝了空气瞬间进入工艺溅射区,减少了因气体杂质对镀膜工艺的影响。使用二次减压,主管路供气压力更为平稳,对后端电磁流量计冲击减小,保证了
用于手表ECG表盖的镀膜夹具及应用该镀膜夹具的镀膜机.pdf
本发明公开一种用于手表ECG表盖的镀膜夹具,包括:旋转座、支撑杆以及若干装夹板,支撑杆旋转设于所述旋转座上,若干装夹板以支撑杆为中心沿圆周方向等距均匀设于支撑杆上,装夹板的内边与支撑杆固定连接,镀膜时盖板的底面固定在装夹板的正面且盖板上的背面电极悬空露出于装夹板。装夹板的外端向一侧弯折形成弯折部,镀膜时盖板固定在弯折部的外表面。膜时将盖板粘贴在装夹板上,本夹具能够进行自转,因而能够采用公自转的方法同时镀制盖板的两面以及连接处,从而保证连接处的原子在沉积过程中和正反面电极上涂层原子的沉积条件相同,以获得更好
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本发明公开了一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备,包括壳体,该壳体具有一端开口的腔体,且腔体的长度为4.8~5.5m;其中,腔体内的底部在水平方向设置有长管支撑架,该长管支撑架的一端穿过壳体的开口端与传动装置连接;腔体的顶部沿其轴向设置有若干个靶座底盘,每个靶座底盘上均分布有多个靶座,每个靶座上均用于安装靶材,每个靶座底盘旁边均设置有用于更换靶材的腔门,靶座上设置有遮挡板,以遮挡靶材。所述磁控溅射设备在放入工件后,进行抽真空,启动电机并调节转速至指定值,进行镀膜。与传统镀膜设备相比,本发明所提供的磁控溅射设
一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺.pdf
本发明公开了一种用于轮毂的真空磁控溅射离子镀膜工艺,其技术方案要点是:具体包括以下步骤:S1、初制二氧化硅靶材:选用二氧化硅粉末,和占二氧化硅粉末质量比为0.02%‑0.1%的粘合剂,初制二氧化硅靶材棒;S2、精制二氧化硅靶材;S3、抛光轮毂:把铝合金轮毂置于装有磨料的振动研磨机中,磨料采用粒度为80‑100目的金刚砂和目数为70‑90目的棕刚玉研磨石;S4、预真空磁控溅射镀膜:将所述S3中抛光后的铝合金轮毂置于真空磁控溅射镀膜机内的镀膜室正中;S5、真空磁控溅射镀膜;本工艺在轮毂表面镀硅时采用的二氧化硅