一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置.pdf

本实用新型提供了一种原子层沉积设备和原子层沉积设备的定量输气装置,涉及原子层沉积技术领域。其中,这种定量输气装置,包含用以连通原子层沉积设备的工艺腔室的出气管、分别出气管的至少两个定量进气组件,以及接合于出气管的不定量进气组件。定量进气组件包括定量腔室、用以连通源瓶的第一进气管、用以连通定量腔室和第一出气管的第一阀门,以及用以连通出气管和第一进气管的第二阀门。不定量进气组件包括用以连接气源的第二进气管,以及用以连通出气管和第二进气管的第三阀门。通过定量输气装置,能够有效的控制每次向反应腔室输送的气体的体积,提升工艺的稳定性和沉积层的一致性,减少对阀门反映速度、稳定性的依赖,大大优化了工艺。