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本发明公开了一种高频高速覆铜板用铜箔的表面处理工艺及表面处理设备,包括将由生箔电解得到的未经处理的毛箔依次进行酸洗工序、预处理工序、第一固化工序、第一粗化工序、第二粗化工序、第二固化工序、第三固化工序、镀镍钴工序、镀锌工序、镀铬工序、偶联剂涂布工序、烘干工序;预处理工序,将毛箔浸于温度为25~35℃的预处理液中10~20s,预处理液包括如下原料组分:硝酸、高锰酸钾、聚乙二醇单甲醚、卤素离子、唑类物质。其采用普通的电解未处理的毛箔作为原料,大大降低成本,并对表面处理工艺进行调整,生产出较低轮廓度的铜箔,并且同时增强铜箔的剥离强度,减小“趋肤效应”引起的高频传输信号损失。