拉晶炉及用于拉晶炉的真空泵控制系统.pdf

本发明公开了一种用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉,该真空泵控制系统包括单片机控制板、强电控制系统、弱电控制系统、真空泵机组,所述真空泵机组包括变频器、电机和真空泵浦,其中所述真空泵浦具有前级泵和主泵;其中,所述强电控制系统电连接至所述真空泵机组,以便控制所述变频器、所述电机和所述真空泵浦的工作,并且其中,所述前级泵用于定频运行,所述变频器经由所述电机电连接至所述主泵,以便变频地驱动所述主泵运行。根据本发明的用于拉晶炉的真空泵控制系统及拉晶炉,有助于实现对炉压的适当且及时的控制,使得炉体压力恒定,同时降低设备成本,增加设备的使用寿命。