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多晶硅还原炉的生产控制方法及相关设备.pdf

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本申请提供一种多晶硅还原炉的生产控制方法及相关设备,通过检测多晶硅还原炉当前的第一运行参数;基于第一关系模型,确定第一运行参数对应的第一生长指标;计算第一生长指标与多晶硅还原炉的基准生长指标的偏差值;基于第二关系模型、第一生长指标和偏差值,将多晶硅还原炉的工作条件参数调整为第一工作条件参数。这样,实现多晶硅还原炉中的工作条件参数自身的不断优化调节,降低了工作条件参数优化调节的难度。