生产多晶硅用还原炉和多晶硅生产控制方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110589835A(43)申请公布日2019.12.20(21)申请号201911072091.9G05B19/418(2006.01)(22)申请日2019.11.05(71)申请人亚洲硅业(青海)股份有限公司地址810000青海省西宁市城东区经济技术开发区金硅路1号申请人青海省亚硅硅材料工程技术有限公司(72)发明人吉红平郭光伟何乃栋陈宏博王琳施光明李宇辰蒲泽军肖建忠宗冰(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463代理人覃蛟(51)Int.Cl.C01B33/035(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图3页(54)发明名称生产多晶硅用还原炉和多晶硅生产控制方法(57)摘要本发明的实施例提供了一种生产多晶硅用还原炉，包括炉体和进料控制机构，炉体的底部设置有多组进料喷嘴组，每组进料喷嘴组内包括至少一个进料喷嘴，进料控制机构包括多个送料阀，每个送料阀对应控制一组进料喷嘴组内的进料喷嘴的开闭。该还原炉能通过控制送料阀进而控制进料喷嘴组的启闭数量，以使得能保证进料和出料的压差维持在较佳的范围内，进而避免多晶硅顶部出现大量的“爆米花”现象。包括：以上述的生产多晶硅用还原炉作为反应炉；生产过程中通过控制送料阀来调整进料喷嘴的开启数量，以控制炉体进料和出料压差维持在30-60kPa内。通过该方法控制生产得到的多晶硅的品质好。CN110589835ACN110589835A权利要求书1/1页1.一种生产多晶硅用还原炉，其特征在于，包括炉体和进料控制机构，所述炉体的底部设置有多组进料喷嘴组，每组所述进料喷嘴组内包括至少一个进料喷嘴，所述进料控制机构包括多个送料阀，每个所述送料阀对应控制一组所述进料喷嘴组内的所述进料喷嘴的开闭。2.根据权利要求1所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述炉体连接有总出料管和与多组所述进料喷嘴组连通的总送料管，所述总送料管和所述总出料管上分别设置有第一压力传感器和第二压力传感器。3.根据权利要求2所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述进料控制机构还包括控制器，所述控制器与所述第一压力传感器和所述第二压力传感器通信连接，所述控制器与每个所述送料阀通信连接。4.根据权利要求3所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述炉体内设置有多晶硅尺寸探测器，所述多晶硅尺寸探测器与所述控制器通信连接。5.根据权利要求2所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，每组进料喷嘴组内包括多个进料喷嘴，所述多个进料喷嘴呈环形阵列式分布于所述炉体的底部。6.根据权利要求5所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述进料控制机构包括多个环形送料管，所述环形送料管的数量与所述进料喷嘴组的组数相同，多个所述环形送料管一一对应地与多组所述进料喷嘴连通，每个所述环形送料管上均设置有多个进料口，每个所述环形送料管上设置的进料口的数量以及位置均与对应的所述进料喷嘴组内的多个所述进料喷嘴一一对应，每个所述环形送料管还设置有用于与所述总送料管连通的送料口，所述送料阀通过控制所述送料口的开闭以控制所述进料喷嘴组的开闭。7.根据权利要求6所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述环形送料管与所述喷嘴的连接方式为法兰连接，螺纹连接或焊接。8.根据权利要求6所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述总送料管通过与其连通的多个送料分管与多个所述环形送料管连通，多个所述送料分管与多个所述环形送料管一一对应连通。9.根据权利要求1所述的生产多晶硅用还原炉，其特征在于，所述炉体的侧壁开设有可视窗口。10.一种多晶硅生产控制方法，其特征在于，包括：以权利要求1～9任一项所述的生产多晶硅用还原炉作为反应炉；生产过程中通过控制所述送料阀来调整所述进料喷嘴的开启数量，以控制炉体进料和出料压差维持在30-60kPa内。2CN110589835A说明书1/5页生产多晶硅用还原炉和多晶硅生产控制方法技术领域[0001]本发明涉及多晶硅的生产技术领域，具体而言，涉及一种生产多晶硅用还原炉和多晶硅生产控制方法。背景技术[0002]多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。目前在电子工业中广泛用于制造半导体收音机、录音机、电冰箱、彩电、录像机、电子计算机等的基础材料。具有很高的经济价值。[0003]其制备方法主要由干燥硅粉与干燥氯化氢气体在一定条件下氯化，再经冷凝、精馏、还原而得。[0004]多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，为了提高原料利用率和环境友好，在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。在用