制绒清洗工艺文件.doc

江西天能电力股份有限公司文件名称：156多晶硅片绒面制备工艺文件编号：版本：TNSC-01:编制部门：技术部生效日期：页数：1.标题156mm*156mm多晶硅片绒面制备和清洗甩干工艺。2.目的2.1清洗多晶硅片表面油污和损伤层、氧化层的去除。2.2在多晶硅片表面制备一个反射率较低的织构表面。3.适用范围适用于无锡市瑞能科技有限公司DUZQJ-9000型多晶硅制绒清洗机及QSJ-03型清洗甩干机。多晶硅片绒面制备(硅片型号：156mm*156mm)4.定义多晶硅在去清洗腐蚀后，目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点，多晶晶界不明显。显微镜下，绒面形貌均匀，硅片表面无明显台阶。5.职责5.1所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作；5.2在操作过程中遇到问题应及时向相关技术人员反应，相关技术员及时提供帮助。6.内容6.1插片6.1.1主要原材料：合格的多晶硅片6.1.2工装、设备：片架（小花蓝）清洗花篮美工刀6.1.3工艺过程6.1.3.1穿戴好工作服、工作帽、口罩和一次性手套。6.1.3.2准备好片架、装片记录表以及工序流程卡。6.1.3.3查看配料单，确认原材料信息以及数量，并填写装片记录和工序流程卡。6.1.3.4检查硅片包装箱确认包装无撞击破损后打开，取出硅片包装盒，在装片记录上记录相关信息。6.1.3.5打开硅片包装盒，从中抽取一片，按照检验标准分别检查其外观。6.1.3.6取出包装盒内的硅片，并撵成扇形轻轻插入片架内。6.1.3.7将装好硅片的片架分批按顺序整齐摆放在台面上，并将工序流程卡记录准确。6.1.3.8将片架放入清洗花篮中每个清洗花篮中放置3×4个插片后的片架。准备下一步腐蚀清洗。6.1.3.8注意事项1.每个片架最多可以插片25片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。每装100片硅片需要更换一次手套，如装片过程中手套破损需及时更换。2.插片处打开包装箱拿取硅片时，遵循少量多次的原则，不允许一次拿过量的硅片。3.插片时，手中拿的硅片数量在50-100片。4.确保没有缺陷片流出。5.确认在单个片槽内没有双片现象；各项数据的准确性和完整性。装片过程中需及时将碎片、裂纹片以及其它与检验标准不相符合的硅片挑出，并做好记录。6.2腐蚀清洗6.2.1开机打开氮气阀门、压缩空气阀门、纯水阀门，打开总电源→PLC电源→各分电源6.2.2准备工作6.2.2.1确认各机械手是否在原点位置。6.2.2.2确认各槽清洗状态正常，各槽内按工艺条件正确配液，见《清洗配液作业指导书》。6.2.2.3确认各槽排水阀关闭，无漏液等，各槽内注入规定的溶液。6.2.2.4确认各槽控制系统工作正常，程序准确，参数设定准确。6.2.2.5点检各设备动力参数在规定范围内。6.2.3关机6.2.2.1关机前先把水及药液完全排出（各槽逐个排液，防止副槽水溢流），把机械手打回原点。6.2.2.2关闭各分电源→PLC电源→总电源→氮气、压缩空气、纯水阀。6.2.4工艺过程酸腐蚀制绒：8槽清洗机中的第1槽，工作温度7℃±1℃，时间120±10sec（时间长短根据硅片减薄量控制，156硅片减薄量控制在每片0.40～0.55g。漂洗/喷淋：8槽清洗机中的第2槽，水洗槽时间2～5min。KOH碱洗：8槽清洗机中的第3槽，KOH百分浓度2.4%，时间6～12sec。漂洗：8槽清洗机中的第4槽，水洗槽时间2～4sec。HCl酸洗：8槽清洗机中的第5槽，HCl＋HF百分浓度5～10%，时间2～4sec。漂洗：8槽清洗机中的第6、7槽，漂洗槽时间2～4sec。喷淋：8槽清洗机中的第8槽，喷淋槽时间1～3sec。6.2.5工艺说明6.2.5.1表面绒面均匀、无亮块、无白斑（干燥硅片在日光灯或聚光灯下检查）。6.2.5.2去除厚度要求：硅片腐蚀去除厚度范围7.7～9.4μm，以8～9.1μm（0.47～0.53g/片）为宜。6.2.5.3工艺条件见附表26.2.5.4八槽清洗机的1、3、5槽需要经常补液，补液有消耗性补液和液面高度不足补液两种6.清洗工序制绒质量异常处理见附表37.硅片去除厚度及重量与消耗HNO3之间的关系见附表58.4.1超声清洗工艺条件见附表1补液前清洗补液1制绒补液：1-1消耗性补液：1-1-1补液配方：硝酸:氢氟酸＝1:2.35（体积比），即10升硝酸加23.5升氢氟酸1-1-2制绒补液时间和量：每做300片156硅片后补液一次，1.61L；或者加入硝酸0.48L和氢氟酸1.13L。